企业档案
深圳丰盛装备股份有限公司
| 企业认证： |  已认证 |
| 所在地区： | 广东 |
| 主营产品： | 扩散炉、PECVD、铸锭炉、电池片测试分选设备等。 |
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联系方式
| 姓名： | 销售部 |
| QQ： | 暂无QQ |
| 电话： | 0755-86161572 |
| 手机： | 暂无 |
| 邮箱： | sales@hanspv.com |
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产品说明
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◆设备用途 等离子体增强化学气相淀积（简称PECVD），主要用途是在硅片表面淀积一层厚度约为75nm的减反射氮化硅膜（SixNy），同时利用在淀积过程中产生的活性H+离子，对硅片表面和内部进行钝化处理。在体现减少光反射的同时，也提高了硅片的少子寿命，最终直接体现在晶体硅电池的转换效率。该设备为国内唯一的第四代PECVD设备，综合性能媲美国际一流产品，其超越同行的实际成膜均匀性，大大减少了上代设备的色差现象，尤其适用于多晶电池片的工艺生产。
◆产品亮点 2、业内独有、领先的压控/温控技术，最成熟的工艺支持 3、国产设备中唯一可媲美世界一流设备的成膜均匀性和表面色差 4、设备有效工作时间较其他国产设备高5%以上 5、自动上下舟系统中国内唯一采用进口精密直线单元
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