用途：

 

DRF系列单晶炉属软轴提拉式单晶炉，它是在惰性气体环境中，通过石墨电阻加热器将半导体材料加热并熔化，然后用直拉法生长无位错的单晶设备。该设备可以大规模生产集成电路、太阳能等行业所需的高质量的硅单晶。该设备可使用18〞、20〞、22〞、24〞的热系统，投料65-150kg，拉制6〞-8〞的单晶。

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主要技术参数

                       DRF-85                 DRF-95

拉制晶体最大直径:　　　　　Ф8″(Ф215mm)　　　　  　Ф8″(Ф215mm)                 

最大熔料量　　　　　　　　　65Kg (18″坩埚)　　　　 120Kg (22″坩埚)

　　　　　　              　90Kg (20″坩埚)　　　　 150Kg (24″坩埚,需使用固化碳毡)

主炉室内径　　　　　　　　　850mm　　　　　　　　　 950mm                         

加热方式　　　　　　　　　　             石墨电阻加热

籽晶拉速　　　　　　　　　　0.2-8mm/min　　　　　　 0.2-8mm/min                   

籽晶转速　　　　　　　　　　0-30rpm　　　　　   　　0-30rpm

坩埚升速　　　　　　　　　　0.02-1mm/min　　　　　　0.02-1mm/min                  

冷炉极限真空度　　　　　　　<3pa　　　　　      　　<3pa

主变压器容量　　　　　　　　190KVA　　　　　　   　190KVA                         

外形尺寸(长×宽×高)　　　　5500×3500×6280mm     5700×3700×7000mm

质量　　　　　　　　　　　　7600Kg　　　　　　　　 8000Kg                         

 

选装件                     全自动/CCD控制系统，底部加热电极