深圳市克洛诺斯科技有限公司
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企业简介
深圳市克洛诺斯科技有限公司主营业务为纳米级、微米级直线电机运动平台，是半导体产业、集成电路制造装备领域，核心部件的重要供应商。
深圳市克洛诺斯科技有限公司是国家高新技术企业，公司核心团队拥有十几年的技术研发经验，和多种高端应用领域经验，以及成熟的产品应用案例。克洛诺斯获得过多项专利及软件著作权，积累了7000多种非标平台研发经验。研发对标先进技术，具有国内****水平，市场竞争力强。
公司于2021年3月17日上市了新型直线电机——小蓝动力导轨，它是一种集成式直线电机，结构更简单，配件更少，能达到±3μm重复定位精度和****4m/s的速度，媲美传统直线电机，是直线传动领域的****解决方案。相比于丝杆，小蓝动力导轨精度更高，速度更快，价格更便宜。
2021年11月，克洛诺斯取得重大突破，成功研发一台重复定位精度达到±50纳米的超精密纳米级气浮平台。超精密气浮平台是精密机械中的关键部件之一，超精密定位运动气浮平台系统是以空气轴承支撑、直线电机直接驱动的高刚性运动系统。它是能够实现精密定位、检测和精确运动的载物平台，是先进电子制造设备，如光刻机贴片机等工作的主要机构，克洛诺斯±50纳米超精密气浮平台具备高机械精度，高稳定性，主要应用于半导体晶圆切割、晶圆检测、晶圆封装工艺。
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