青岛精诚华旗微电子设备有限公司
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企业简介
青岛精诚华旗微电子设备有限公司(简称“精诚华旗”，创立于1993年。)为专业的半导体工艺设备及先进材料专用设备研发、制造厂家。致力于为半导体、高新材料提供先进的专用设备，工艺涵盖扩散、氧化、退火、合金、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、外延、烧结等工艺。
精诚华旗拥有十几年的专业研发制造经验、半导体工艺设备覆盖一、二、三代半导体材料-硅、砷化镓、氮化镓等等。产品服务广泛应用于行业内的大专院校、科研院所、半导体制造企业工厂等。
我公司主要产品有:4"-8"扩散炉系列,LPCVD系统,PECVD系统,VPE系统,扩散炉炉体系列及真空炉系列。4"-8"扩散炉系列分:卧式扩散炉,立式扩散炉;真空炉系列分：双室真空快淬烧结炉，高温真空/快淬炉，卧式管式炉，立式管式炉。
精诚华旗拥有精良的科研、设计、制造、服务团队、为中国电子专用设备协会、中国磁性材料与器件协会等多家协会会员单位。承接并出色完成了一系列国家重点项目的专用设备的设计制造，各系列产品及配件广泛用于半导体集成电路、分立器件、电力电子器件、太阳能电池、半导体照明、MEMS、磁性材料、电子陶瓷等高新材料领域。
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