日本康肯株式會社(KankenTechno)1978年成立,投入高科技產業的揮發性有機氣體(VOCs)處理,已有30年以上專業經驗,為製程廢氣處理(LocalScrubber)的專家,被公認為污染防治設備界的翹楚。Kanken台灣子公司---台灣康肯環保設備公司2008年7月成立,提供台灣本地半導體及太陽能產業所需服務。
KT1000FA設備採熱電式設計,比吸附式機種節省耗材成本,也不會有燃燒式機種會產生二氧化碳的問題。其均溫性佳,處理效率較高,台灣前二大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。KT1000FA堅固耐用,****部售出的機台已逾七年,至今仍未除役,深受客戶肯定。
KT1000FA在日本為****,台灣市場雖面臨美、德、英、韓及本土品牌產品的激烈競爭,但在12吋晶圓生產線的市佔率始終遙遙領先對手;在大陸、新加坡及馬來西市場也有很好的口碑。該機處理的濃度符合需求,可提供客製化機台為其****優勢。處理NF3、C2F6及C3F8所需的溫度較高(1,100度以上),業界已採購40台KT1000HA,使用情形良好,是重視環保的企業眼中的優良產品。
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