类别:烧结炉及其他来源:晶盛机电2024-04-18 10:08:08
在电池环节开发了兼容bc和topcon工艺的管式pecvd、lpcvd、扩散、退火、单腔室多舟ald和舟干清洗等设备,通过创新的设计和工艺实现竞争的差异化。在组件环节强化了叠瓦组件的整线设备供应能力。...成功开发具有国际先进水平的8英寸单片式和双片式碳化硅外延生长设备,以及6-8英寸碳化硅衬底片和外延片的光学量测设备;同时公司基于产业链延伸,开发出了应用于8-12英寸晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、lpcvd设备、ald