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一文全面了解PECVD

光伏设备  来源:摩尔光伏    2020/9/1 8:26:11  我要投稿  

北极星太阳能光伏网讯:等离子增强化学气相淀积(PECVD:Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition),在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,减少反射,氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。

(来源:微信公众号“摩尔光伏”ID:molepv)


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