产业化制约：HIT设备现状

北极星太阳能光伏网讯:HIT电池结构:N型硅片+正反面各 3 层膜。HIT电池以 N 型单晶硅片作衬底，正反面依次沉积本征非晶硅薄膜、掺杂非晶硅薄膜、金属氧化物导电层TCO，再通过丝网印刷制作正负电极，呈双面对称结构。

（来源：微信公众号“电新产业研究”）

核心生产工艺仅四步，分别对应4种专用设备：

清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。HIT制绒难度高于PERC，对应设备为清洗制绒机，与PERC的清洗制绒机不通用。

非晶硅沉积：在清洗好的硅片两侧沉积本征和掺杂非晶硅薄膜，两侧共4层膜（i、n、i、p），在一台机器内完成，对应设备是PECVD，和PERC的PECVD不通用。

TCO沉积：在非晶硅薄膜两侧再沉积金属氧化物导电层TCO，用于导出电流，对应设备为PVD或者RPD，两种设备产业里都有应用，PERC不需要沉积TCO。

制作电极：在TCO两侧印刷银浆制备电极，对应设备为丝网印刷机，和PERC通用。

1.2量变到质变，国产设备不断突破

海外设备较为成熟，但核心设备价格较高不具备量产经济性。

清洗制绒机：日本YAC、德国RENA和Singulus、韩国Exataq均有成熟的清洗制绒机在售，当前全球已经建成的HIT产线中，60%以上选用日本YAC的设备。

PECVD：在面板行业应用较多，美国应材、瑞士梅耶博格是海外核心供应商。

PVD/RPD：PVD海外核心供应商有德国的冯·阿登纳和Singulus，RPD核心专利在日本住友，台湾精耀、SNTEC有生产授权。

丝网印刷机：意大利Baccini，2016年被美国应材以3.3亿美元收购。

四大设备中，清洗制绒机约1000万元/台（250MW），丝网印刷机约1200万元/套（200MW），和国产设备价格基本一致，且性能基本相当，不构成产业化的障碍。PVD约3000万/台（250MW），国产设备在快速跟进，本身壁垒不高，也不是产业化的障碍。HIT量产最大的痛点在于PECVD，当前海外应材和梅耶博格的PECVD价格接近5亿元/GW，设备虽然成熟但价格太高，整线的设备投资达到7-8亿元/人民币。

高设备成本对HIT产业化的制约体现在两个方面：

第一，PERC设备投资已经可以控制在2亿以内，5-6亿的差价意味着5-6分/W的财务报表折旧成本差异，而光伏企业决策时普遍按照3年折旧，因此在管理会计报表上体现出来是15-18分/W的差距，性价比被大幅拉低。

第二，设备国产化和降本是大势所趋，且进展迅速，如果采购高成本进口设备建成量产线，很可能在运行1-2年后就面临低成本国产线的竞争，在成本上处于劣势。

国产设备商快速崛起，核心设备不断突破。

清洗制绒机：捷佳伟创已经形成供货能力，YAC也在推动设备中国本土制造。清洗制绒环节的化学反应过程较为复杂，但近年来国内已经基本摸索出来，设备制造本身壁垒并不高，核心的制绒添加剂也已经实现国产。

PECVD：钧石、理想有设备供应，迈为研发进展较快，样机在通威合肥基地已经运行半年，下半年大概率会形成供货能力，捷佳伟创、金辰股份、常州比太也在积极布局，下半年有望推送样机到电池厂做测试。PECVD是HIT设备最难的环节，也是价值量和盈利能力最强的环节，设备厂必须突破PECVD才能形成核心竞争力。

PVD：钧石、湖南宏大、红太阳已经形成供货能力，捷佳、比太等企业在积极研发。

RPD：捷佳获得日本住友授权，具备成熟供货能力。

丝网印刷机：迈为股份是全球龙头，设备十分成熟，捷佳、金辰也在布局。

PECVD的突破是关键。PECVD并不是新兴技术装备，平板显示领域早已得到成熟应用，并且已经迭代到第11代了。2019年中国光伏企业购买的应材PECVD主要是6代线，对应单机产能只有100MW左右，今年已经升级到8.7代（应材专门针对光伏产业的改动版），对应单机产能250-270MW，8.7代的推出意味着大通量的PECVD不管在理论上还是工艺上都是可行的，此前产业中存在PECVD能否做大的争论。

国内设备企业的技术攻关主要就是集中在PECVD上，主要解决成本问题。目前国内节拍最高的PECVD节拍是3600片/小时，对应单机产能170MW，仍需要进步。迈为、捷佳、金辰、比太都在按照5500-6000片的节拍进行研发，对应单机产能250-300MW，已经有很大进展。一旦彻底突破，PECVD的GW投资将从5亿下降到2.5亿。

PECVD突破将带动设备投资快速下降。当前清洗制绒机、PVD/RPD、丝网印刷机制造工艺都已经成熟，价格偏高主要是由于需求没有放量，一旦PECVD突破将1GW的PECVD投资额降低到2.5亿，GW级的HIT产线将会迅速放量，进而带动其他设备降本，2年内大概率可以看到4亿元/GW左右的整线设备价格，突破产业化的瓶颈。

清洗制绒机：当前1000万元/台，产业化放量之后预计到600万/台以下，当前PERC的清洗制绒机价格约200-300万/台，设备80%以上成本为材料，降本空间较大。当前1GW产线需要4台清洗制绒机，未来可能只需3台，1GW的价值量预计在1500万。

PECVD：进口设备价格接近5亿/GW，国产化后降低到2.5亿/GW，随着节拍的提升和原材料零部件的国产化，价格还有进一步下降空间。按6000片算1GW产线需要4台PECVD，未来8000片以上机型推出后有潜力下降到3台，1GW的价值量预计在2.4亿左右，如果供应链国产化能够大部分实现，有可能下降到2亿。

PVD：进口设备价格接近3000万元/台，国产约2200万/台，PVD技术壁垒低于PECVD。当前主流PVD节拍6000片，已经有企业推出8000片，未来1GW产线预计只需要3台PVD，价值量预计不超过6000万。

RPD：当前价格约2400万元/台，由于RPD正反面不能在一台机器内完成，因此单线需要配置两台RPD，1GW要10台，2.4亿元，成本较高。因此国内有头部企业在开发大通量的RPD和正面RPD+背面PVD的一体机，兼顾效率和成本。

印刷机固化炉等：按最先进四道印刷技术，印刷机双轨4头，当前价格约2000万元/套，1GW需要5套，对应价值量1亿元。丝网印刷机也在往大通量去做，需要银浆的可印刷性配套提升，未来1GW的配置有望下降到4套，价值量不超过8000万。