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管式PECVD镀膜均匀性改善

光伏设备  来源:摩尔光伏    2020/2/27 8:31:14  我要投稿  

北极星太阳能光伏网讯:文章重点分析了管式PECVD镀膜均匀性的影响因素。通过改变PECVD镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。结果显示,适当降低PECVD镀膜压力,增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升PECVD镀膜均匀性。

(来源:微信公众号“摩尔光伏”)


原标题:管式PECVD镀膜均匀性改善

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