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多晶相关工序
切片的主要流程
切割原理:高速运动的镀铜钢线和切削液(具有切削能力的物质如SiC)对工件(硅块)进行持续下压,硅块被切开
2、多晶开方是把粘在操作台上的硅锭制成符合检测要求的硅块,开方包括单晶棒及多晶锭的粘接、加工、清洗、称重、检测等。
3、切磨工序主要是把已开方的多晶硅块通过去头尾及平面、倒角、滚圆等操作加工成符合各项检测要求的硅块和准方棒。
4、粘胶工序就是把硅块用粘胶剂粘结到工件板上,为线切工序做准备。
5、砂浆工序是用碳化硅微粉和悬浮液按一定比例混合而成,是决定硅片切割质量的重要因素之一,浆料区域的主要工作就是为线切机配置及更换砂浆。
多晶硅片
6、切割液的作用
1. 悬浮能力:可以有效悬浮碳化硅颗粒,提高切割效率,降低切割消耗。
2. 分散能力:可以使碳化硅颗粒在与切割液混合时分布更均匀。
3. 润滑性能:可在硅片表面形成保护膜,降低切割阻力,并保证切割出来的成品表面光滑。
4. 冷却性能:可以有效的散发热量,降低切割应力。
7、线切工序。是用多线切割机将硅棒或硅块切割成符合要求的硅片,线切割是由导轮带动细钢线高速运转,由钢线带动砂浆形成研磨的切割方式。在线切割机的切割过程中,悬浮液夹裹着碳化硅磨料喷落在细钢线组成的线网上,依赖于细钢线的高速运动,把研磨液运送到切割区,对紧压在线网上的工件进行研磨式切割,
8、清洗工序的主要工作就是将线切工序生产的硅片进行脱胶、清洗掉硅片表面的砂浆。包括三项工作内容:预清洗、插片、超声波清洗。
清洗过后的硅片会被分选,不同级别价格不同,当然不同厂家生产出来的硅片质量不同,随着将本增效浪潮的来临,各大厂商也必须跟随时代潮流,改进产线,降低返工,节省成本。硅料等产业大多是高耗能产业,技术突破才是解决成本等问题的根本途径。
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原创:北极星(每天不定量更新)
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