光伏逆势而上 PECVD国产设备研发势头依然强劲

北极星太阳能光伏网讯:为光伏制造大国，但在电池片生产核心设备如PECVD，烧结炉等关键设备依然未能很好实现国产化，也一直制约着我国电池片的生产成本。但是国内光伏企业并未放弃相关核心设备的研发，在光伏寒冬期，并未因此而停下研发脚步。10月29日上午，北方微电子在新厂房举行了隆重的庆祝仪式，庆祝企业成立十周年和新厂房的落成。太阳能光伏作为北方微电子的一大重要产业部门，得益于企业雄厚的财力支持，太阳能部门今年虽然在市场普遍萧条之下受到一定影响，但并未动摇北方微电子加快推动PECVD技术的研发脚步，已建成的新厂房内包括了50MW的电池片检测中心，配套其PECVD的技术研发和测试。

北方微电子一直是半导体制造领域的翘楚，丰富的半导体研发经验促进了其进军太阳能核心设备领域之时显得相对轻松。据悉，北方微电子于2001年10月25日注册成立。自成立以来，北方微电子肩负发展民族产业之重任，以推进高端微电子装备国产化为使命，通过实施国家科技重大专项，实现了我国高端集成电路装备的技术提升，同时积极向节能环保、新能源等新兴战略产业拓展，在多个技术领域实现了重大突破。自2009年进入太阳能领域以来，以其强势的技术研发团队和经验，在短时间内，顺利实现PECVD的量产化，达到了国籍水平，也填补了国内空白。据北方微电子太阳能负责人王博士介绍：设备采用平板式大产能设计，应用多项集成电路核心技术，设备成膜的均匀性、减反射特性以及折射率等工艺技术指标均达到国际先进水平，已取得生产线量产验证。

在短时间内取得如此傲人的成绩，并非朝夕可成就的事情，这不仅得益于其雄厚的技术背景，也同其一直注重培养研发团队，吸引技术人才，不断充实技术力量密不可分。据介绍，自成立以来，北方微电子致力于打造一支技术精湛、朝气蓬勃、敢于挑战的研发管理队伍，目前拥有员工近600人，50%拥有硕士及以上学历，15名海外专家加盟，其中3人入选中组部“千人计划”和北京市“海聚工程”。通过十年的发展，掌握了多项核心技术，截至2011年6月底，共计申请国内专利700余件，其中发明专利697件;PCT申请49件。

此次北方微电子十周年庆暨新厂房成立，无疑是给“寒冬”下的光伏行业以一剂强心针，同时也说明了不论是设备制造商还是光伏产品生产企业，在此时机下，依然未放松对光伏产业的巨大信心，毕竟受到其它产业部门的支撑，非常有利于企业熬过这个市场萧索的阶段，而以光伏为支柱产业的企业坚持下来，可能显得步履维艰，因此挺住市场下，多条腿比单条腿更具优势。

据北方微电子工作人员介绍，受到光伏市场行情的影响，今年北方微电子只以订单来生产，而没有盲目扩张，趁此时机将更多的精力投入到设备产品的创新和提升上，以期迎接未来的市场发展。