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SINGULUS引进ICP-PECVD技术改进Silex系统

北极星太阳能光伏网  来源:Solarbe    2011/8/10 9:55:26  我要投稿  

北极星太阳能光伏网讯:日前,SINGULUS技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体(ICP-PECVD)覆膜设备,该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产,将在第26届德国汉堡的EU—PVSEC上展出。

2011年8月3日,该公司宣布其Silex湿法蚀刻工具的改进,其采用无溶剂的处理方法可以大大降低光伏电池的生产成本。

该公司新推出的“Singular”是一个由数个真空室构成的模块化的工具,它使高效率的光伏电池制造过程更为灵活。SINGULUS指出,改进后的Silex系统避免了使用挥发性溶剂包括异丙醇(IPA)。

同时,该公司指出,这比传统的蚀刻系统成本更低,使蚀刻液的寿命延长了3倍并缩短蚀刻时间。新系统能够达到每小时3000片的产量,废品率小于0.05%。公司指出,第一台机器已被一亚洲客户买走,并已顺利通过了最终验收测试。

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