高速风机在单晶圆清洗机中扮演着关键角色，主要通过提供的气流控制和环境管理来确保清洗过程的性和稳定性。以下是其具体作用及技术细节。

1.  快速干燥单晶圆

• 作用：清洗后需去除晶圆表面的水分或溶剂，避免残留物导致缺陷。高速风机产生的高流速气流（如通过风刀系统）能快速吹扫液体，实现无接触干燥。

• 技术要点：气流需均匀且可控，避免局部湍流损伤微细结构（如低于20nm的线路）

. 维持洁净腔体环境

• 作用：在清洗过程中，高速风机配合HEPA/ULPA过滤器循环净化空气，去除颗粒污染物（如控制0.1μm颗粒至每立方米≤1个）。

• 应用场景：在旋转喷淋清洗或超临界CO₂清洗等工艺中，保持惰性气体（如氮气）的稳定流动，防止氧化或污染。

3. 辅助化学蒸汽排放

• 作用：清洗中使用的酸、碱或有机溶剂（如IPA、DHF）可能产生有害蒸汽。高速风机通过负压抽吸及时排出废气，确保工艺安全。

• 系统设计：需防腐蚀材质（如PTFE涂层）并集成废气处理单元（如洗涤塔）

4. 温度与气流控制

• 精密控温：某些清洗步骤（如热DI水清洗）需保持特定温度（如80±1℃），高速风机通过调节气流速率辅助温度均匀性。

• 案例：在Marangoni干燥中，气流与溶剂蒸汽的平衡可减少水痕。

5. 支持高转速甩干工艺

• 协同作用：晶圆旋转甩干时（如1000-3000 RPM），高速风机增强离心力效果，缩短干燥时间，同时避免飞溅污染。

• 行业应用趋势

• 节点工艺：随着制程进入3nm以下，对气流层流性（Laminar Flow）要求更高，需CFD模拟优化风机布局。

• 绿色制造：集成热能回收系统，将废气余热用于预加热清洗液。

• 高速风机作为单晶圆清洗机的核心子系统，其性能直接影响良率与产能，需与传感器、控制系统深度集成以实现智能化工艺调节