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产品名称:超纯水半导体PFA管口焊接机氟隆达科技

联系人:范海金
手机: 17350038674 电 话:0592-5551241

产品说明

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   然而,随着半导体制造工艺不断向更精密的制程节点迈进,超纯水输送系统的可靠性面临前所未有的挑战。传统焊接工艺中难以避免的晶间腐蚀和金属离子析出问题,正在成为制约良率提升的隐形杀手。

  在最新研发的PFA管口焊接系统中,我们采用了梯度温控激光焊接技术,通过非接触式红外测温仪实时反馈,将焊接区域温度波动控制在±1.5℃范围内。这种精密控温不仅避免了氟塑料因局部过热产生的分解现象,其特有的脉冲式能量输出模式更在分子层面实现了PFA材料的定向重组。

  值得关注的是,设备集成的等离子体表面处理模块能在焊接前对管口进行纳米级清洁,经实测可将界面杂质含量降至0.01ppb以下。配合自主研发的惰性气体保护装置,焊接过程中氧含量始终维持在0.5ppm的极低水平,这使得焊接接头的拉伸强度达到原生材料的92%,远超行业85%的标准要求。

  目前,该设备已通过台积电3nm产线的48小时连续压力测试,在输送18.2MΩ·cm超纯水时,未检测到任何可溶性硅酸盐析出。这种突破性表现,为下一代GAA晶体管制造中的超纯水供应提供了新的技术范式。

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