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江苏迈睿科半导体科技有限公司
| 企业认证： |  已认证 |
| 所在地区： | 不限 |
| 主营产品： | 太阳能电池清洗设备，半导体清洗设备，微电子工艺设备及清洗设备，太阳能电池片清洗刻蚀设备，微电子半导体清洗刻蚀设备，LCD 液晶玻璃基板清洗刻蚀设备... |
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产品说明
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混液供液系统
● 柜体材质：进口白色PP板+SUS304 龙骨架（所有泵阀区及桶区均需包覆在柜体内），柜体荷载不超过1.5T/㎡；
● 原液方式：PE Drum， 200L桶位*2个；
● 原液输送方式：气动风囊泵*2台；
● 原液出口：单出口供给混配罐
● 混配罐：CS+PTFE 5000L，罐体运行重量荷载不超过2.5T/㎡；
● 称重装置：混配桶配置不锈钢称重模块（传感器最小分度Y值，不小于11500），3点式，称重精度0.03%；
● 混配动力：混配桶配置磁力泵*2台；最大流量80LPM
● LOOP管径1寸PFA+2寸CPVC
● 取样功能：混配液取样；
● LOOP配置2组PFA过滤器、配置Damper；
● LOOP采用大循环，循环回路安装PT与背压装置；
● 混配效率：每吨桶小于30分钟，每300L桶小于10分钟；
● 配比要求：，可自定义调节；
● 三菱PLC 控制系统（带冗余，可在供液状态下进行程序更新）；
● Proface触摸屏人机界面；
● 柜体门设有传感器及Interlock；
● 系统配置抽风，并配有调节阀与压差计，压差计用于侦测排风给与报警提醒；
● 历史纪录管理，换液次数，混配记录、比重记录、温度记录、桶扫码记录等；
液体侦测功能，泄漏后设备急停并声光报警；
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