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产品名称:硅片显影台

联系人:魏然
手机: 13911371769 电 话:010-58467689

产品说明

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  用于晶片的显影工艺,
  控制模式:  手动控制模式   自动控制模式,
  清洗能力:2-8英寸晶片。

  需甲方提供花篮。

  设备形式: 室内放置型。

  洁净度:千级洁净室

  工艺说明:手动方式实现放片(工件),取片(工件),槽体间传送片。

  工艺参数(温度,时间,DI水清洗流量,时间)手动设定。

  设备台面布局按用户要求配制。

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