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产品名称:扩散炉

联系人:销售部
电 话:0755-86161572

产品说明

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◆设备用途
 
 设备晶体硅太阳电池制造过程中不可或缺的关键设备之一,主要用于晶体硅太阳电池制造中硅片的扩散掺杂与氧化工艺


产品亮点

1、唯一能适应高阻高效和变浓度扩散工艺的国产设备

2、领先国内同行的实际扩散均匀性

3、扩散综合使用成本较第三代设备降低20%以上

4、单位综合能耗下降20%以上

5、设备有效工作时间较第三代国产设备高5%以上

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