光伏pecvd膜厚度

类别：其他来源：爱康科技2023-08-07 18:38:08

1.微晶硅工艺导入，效率提升先行一步爱康微晶工艺是通过vhf - pecvd技术在异质结电池表面形成微晶硅薄膜。...光伏行业发展的核心动力在于技术创新，作为技术迭代周期内最具潜力的下一代高效电池技术，异质结（hjt）的降本增效进程受到高度关注。

类别：太阳能电池来源：老成之见2020-08-17 12:24:29

高转换效率得益于电池材料和结构：hjt异质结电池以n型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的n型硅片正面依次沉积厚度为5-10nm的本征a-si:h薄膜和p型掺杂a-si:h薄膜以形成p-n异质结，在硅片背面依次沉积厚度为

类别：太阳能电池来源：光伏們2020-05-19 11:58:58

（ i-a-si:h）和 n型非晶硅薄膜（ n-a-si:h），沉积反面沉积本征非晶硅膜（ i-a-si:h ）和p型非晶硅薄膜（ p-a-si:h）。...我们充满希望，在不久的未来，异质结技术必将被更多的制造商和市场所接受，迅速成为光伏电池和组件的下一代主流制造技术。

类别：太阳能电池来源：摩尔光伏2020-05-19 10:32:58

其背面第一层为a12o3薄膜，厚度约为2～30nm；第二层为sinx薄膜，厚度约为100～150nm，起到保护a12o3 薄膜的作用。...如今，国际形势日趋复杂，国内政策逐渐收紧，光伏行业内不断洗牌重组，光伏企业的利润已不再是依靠盲目地追求扩产而获得，而是以不断降低电池的生产成本，大力发展高效电池来提升企业自身竞争力，在光伏行业内取得先机

类别：来源：摩尔光伏2020-03-16 09:05:50

在实际商业运用中，用pecvd沉积氮化硅薄膜的技术已较为成熟，光伏太阳电池行业广泛使用板式pecvd和管式pecvd，但管式pecvd法制备的氮化硅薄膜色差问题难以解决，色差会使太阳电池的外观不良，必须重新晶硅太阳电池氮化硅膜产生色差的影响因素研究返工

类别：太阳能电池来源：太阳能杂志2020-02-20 07:50:05

（来源：微信公众号“太阳能杂志光伏盒子”作者：于琨等）01实验准备及制备流程1.1 实验准备1) 物料：采用p 型多晶硅片，尺寸规格为156.75±0.25 mm，厚度为190 μm，电阻率为1～3 ωcm

类别：太阳能电池来源：光伏每日头条2020-01-10 09:02:42

下图是hit太阳能电池的基本构造，其特征是以光照射侧的p-i型a-si：h膜（膜厚5-l0nm）和背面侧的i-n型a-si：h膜（膜厚5-l0nm）夹住晶体硅片，在两侧的顶层形成透明的电极和集电极，构成具有对称结构的

类别：来源：电新产业研究2020-01-07 13:20:24

非晶硅沉积：主要使用pecvd设备进行非晶硅薄膜沉积，薄膜厚度为纳米级，且内部结构较为复杂，半导体级工艺，技术摸索集中在这个环节。...1.2 异质结电池工艺hit电池结构:晶硅衬底+正反面各 3 层膜。

类别：太阳能电池来源：光伏测试网2019-07-04 11:36:37

∶h减反射膜及钝化→丝网印刷电池的正反面银电极和al背电场→高温烧结形成良好的欧姆接触。...电池生产工艺:碱腐蚀去损伤层、制备电池表面陷光层→单面磷 (pocl3) 扩散形成pn结→湿法刻蚀周边结及清洗→电池上表面热氧化制氧化硅薄层→等离子增强化学气相沉积 (pecvd) 在电池上表面沉积sinx

类别：银浆来源：亚化咨询2019-02-19 10:32:17

目前，用于perc电池量产的alox钝化膜沉积方法主要有原子层沉积法（ald）和等离子化学气相沉积法（pecvd）。...浆料需匹配双面钝化膜，烧穿正面的alox膜的同时，还要保证良好的接触性能及合格的拉力水平。

类别：单晶组件来源：新能源投融资圈2018-01-17 15:02:09

而影响背面钝化成本的两个核心因素是氧化铝膜厚度和tma 使用量。而相比于传统pecvd 钝化技术，ald 技术使钝化膜更薄，并且大大降低tma 使用量，从而使成本降低。

类别：多晶硅来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27 12:15:34

3sih4+4nh3 si3n4+12h2二、si3n4si3n4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化，一般理想的厚度是7580nm之间，表现为深蓝色，si3n4膜的折射率在2.02.5之间效果最好，通常用酒精来测其折射率

类别：其他来源：摩尔光伏2017-11-14 09:01:21

采用ct管式pecvd炉在硅片表面形成氮化硅减反射膜，同时掺杂h元素，使缺陷减少，还可以保护硅片。丝网印刷是将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在晶硅太阳能电池两面形成电路或电极。...太阳能光伏是近年来最受关注的研究领域。光伏行业中，永恒的主题是提高晶硅太阳能电池的光电转换效率和降低其生产成本。近年来，单一依靠常规工艺进一步提高太阳能晶硅电池效率变得愈加困难。

类别：太阳能电池来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21 16:02:20

涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、pecvd、制绒清洗机、去psg清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。...cs300系列产品专为半导体行业设计生产，除了具备cs200产品的性能之外，其与气体接触的零件表面均经过电化学抛光处理，粗糙度达到ra 5inch;与气体接触的零件表面化学成分：cr/fe比例2.0;cro 厚度

类别：薄膜组件来源：中国太阳能光伏网2012-10-22 10:37:07

超高频电源应用主要的目的在于使薄膜淀积又快又好，即在薄膜的淀积过程中，使产生的等离子既不能破坏膜的结构，同时薄膜的淀积速度要快。...所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。

类别：太阳能电池来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-30 15:28:19

1.2 多晶硅薄膜太阳能光伏电池 通常的晶体硅太阳能电池是在厚度350～450m的高质量硅片上制成的，这种硅片从提拉或浇铸的硅锭上锯割而成。因此实际消耗的硅材料更多。...目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(lpcvd)和等离子增强化学气相沉积(pecvd)工艺。此外，液相外延法(lppe)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。

类别：太阳能电池来源：北极星太阳能光伏网2012-05-29 17:36:11

同时还能够分析并不理想的样品，如：具有米氏散射或瑞利散射的绒面衬底、具有背板反射的透明衬底、膜层厚度极其薄以及极其厚、非均匀样品等等。无论是吸收还是透明衬底，双层膜还是多层膜分析，皆可一键完成。

类别：烧结炉及其他来源：北极星太阳能光伏2012-05-25 13:25:45

正面电极的形式和厚度总是两方面因素平衡的结果：一方面要有高的透过率;另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻。对此，各光伏生产厂家有许多不同的制作工艺。...在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和pecvd制减反膜，下一工艺主要是形成良好的电极接触，而这正是通过丝网印刷和烧结两道工艺共同完成的。

类别：太阳能电池来源：ne21.com2012-05-15 16:38:02

其中pin膜的沉积是利用pecvd技术在非硅衬底上制备晶粒较小的多晶硅薄膜的一种方法。该薄膜是一种p-i-n结构，主要特点是在p层和n层之间有一层较厚的多晶硅的本征层（i层）。...尽管非晶硅薄膜太阳能电池的转换效率（6％左右）不如晶硅太阳能电池的转换效率（15％～16％）高，但是其厚度（700nm）却要比晶硅太阳能电池（厚度为180m）薄很多。

类别：太阳能电池来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-27 09:12:19

目前，普遍采用的等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）沉积本征及掺杂的a-si:h膜，同时热丝化学气相沉积法（hwcvd）制备a-si:h法也被认为很有前景。...从成本来看，在hit太阳能光伏电池等结晶硅型太阳能电池单元中，硅晶圆在总成本中所占的比例非常大，减薄其厚度是降低成本的重点。

类别：太阳能电池来源：solarzoom2012-03-14 16:24:08

1、hit太阳能电池的结构与特点1.1hit太阳能电池的结构图1为hit、太阳能电池的基本构造，其特征是以光照射侧的p-i型a-si：h膜(膜厚5～lonm)和背面侧的i-n型a_si：h膜(膜厚5～10nm

类别：其他来源：21IC电子网2011-08-10 15:18:26

太阳能光伏系统不仅只在强烈阳光下运作，在阴天也能发电。晶体硅是当前太阳能光伏电池的主流。目前晶体硅电池光电转换效率可以达到20％，并已实现大规模生产。除效率外，光伏电池的厚度也很重要。

类别：其他来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15 13:27:11

与常规的晶体硅太阳能电池相比，这些薄膜电池使用材料很少，构成太阳能电池的薄膜材料厚度不超过5微米，而晶体硅电池厚度约180微米～200微米。...工艺、材料是规模化生产最大瓶颈薄膜太阳能电池因为廉价的衬底材料(如玻璃、不锈钢、聚酯膜)，有柔性，材料禁带宽度可调控，组件温度系数低等优点很受瞩目，在光伏市场的应用规模逐渐扩大，2010年已经占13%以上的市场份额

类别：多晶硅来源：中国新能源网2008-10-29 14:20:40

制作减反射膜层 对于高效太阳电池，最常用和最有效的方法是蒸镀zns/mgf2双层减反射膜，其最佳厚度取决于下面氧化层的厚度和电池表面的特征，例如，表面是光滑面还是绒面，减反射工艺也有蒸镀ta2o5, pecvd