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多晶硅制作方法

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类别:多晶硅来源:新浪博客2013-09-24 15:22:06

1.装料将装有涂层的石英坩埚在热交换台上,加入硅原料,然后安装加热设备、隔热设备和炉罩,将炉内抽真空使炉内压力降至0.05-0.1mbar并保持真空。通入氩气作为保护气,使炉内压力基本维持在400-600mbar

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