来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备以及全自动光学检测设备等各类高性能光伏电池与组件生产和检测测试仪器。...重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：集邦新能源网2021-02-02

（2）topcon：图中黄色色块为topcon在perc基础产线上改变或者增加的工艺，可以最大化的利用现有perc产线和工艺经验积累，增加的设备包括lvcvd/pecvd、离子注入机、退火炉、刻蚀设备等

来源：贺利氏可再生能源2020-07-10

一种是用lpcvd原位（或离位）掺杂形成多晶硅，由于lpcvd沉积过程会带来绕镀问题，使电池性能退化，因此可选择离位掺杂，即lpcvd形成本征多晶后再进行扩散或离子注入掺杂，形成重掺杂的多晶硅；另一种是使用...topcon工艺流程 topcon电池最大程度保留和利用现有传统p型电池设备制程，只需增加硼扩和薄膜沉积设备，无须背面开孔和对准，极大的简化了电池生产工艺，量产化困难度低。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-06-23

可以说，应用材料的薄膜沉积（cvd、pvd 等）、氧化、刻蚀、离子注入、快速热处理、化学机械平整（cmp）、计量检验等设备基本覆盖了集成电路生产的全部环节。...据了解，应用材料公司成立于1967年，是一家全球领先的半导体和专业太阳能设备制造商，为全球半导体、平板显示器、太阳能光伏发电及相关行业提供制造设备、服务以及软件产品。

来源：摩尔光伏2020-05-25

需要留意的是激光加工带来的硅片损伤，以及对接触电阻的影响；另外，精准对位是激光设备的必要条件，如果不采用scanner方式的激光头，其加工时间往往较长，平均每片电池片的激光加工需耗时几分钟到十几分钟，生产效率低...同样，通过掩膜可以形成选择性的离子注入掺杂。离子注入后，需要进行一步

来源：OFweek2020-05-14

根据研究人员的研究，通过离子注入技术将金和银纳米颗粒嵌入二氧化钛中。依赖纳米颗粒的细胞效率及其等离激元诱导的光电效应显示，其效率（相对而言）比未植入的细胞高89％。...科学家们描述了典型的电浆细胞钙钛矿作为设备由一个紧凑的20 － 50纳米氧化钛（二氧化钛）阻挡层，100 － 400 nm之间嵌入层电子运输材料，如介孔二氧化钛和透明导电氧化物基质，由一个洞之后运输材料夹在钙钛矿吸收器和接触电极

来源：光伏們2019-09-19

另外，王文静认为，topcon技术在bbr3扩散、硼离子注入、制备双面掺杂层、 p-topcon电池的掺硼多晶硅等方面仍面临着较大的挑战。...对于异质结，最受诟病的无非是成本和设备。

来源：摩尔光伏2018-05-28

，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是行业研究的热点。...目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光psg掺杂法由于其工艺过程简单，从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线

来源：科华恒盛2018-05-14

以电脑处理器（cpu）为例，从沙子到芯片，需要经过提纯硅、切割成硅圆片、研磨硅圆片、涂抹光刻胶、蚀刻、离子注入、构建晶体管之间连接电路等5000道复杂工序，对生产设备、环境有严苛的要求。...科华恒盛30年专注电力电子技术研发与设备制造，针对芯片生产环境提供ups整体电源解决方案芯片制造的核心工艺设备多采用原装进口，用电制式与国内电网标准相异，且出于高精尖制造标准，生产线对电源质量要求极高。

来源：能见2017-10-17

我们现在是离子注入机的领跑者，是第一家能把它运用到光伏领域，帮助光伏生产企业降低设备成本，实现产业化，达到平价上网的最终目标。...我们在设备选型的时候肯定会考虑到它的使用寿命和质保，如果选择了离子注入机它的使用寿命就会长，每年的固定资产折旧来说就是比较低的。

来源：能见2017-10-17

杨智：我们就加一个设备，就加一道，我们的所有都是兼容的。因为你的hit，你两边都要薄膜，对于我们top来说不用。刘正新：ibc的话，离子注入的话，要很多氧膜，这个成本你们是否算过?杨智：ipc的做下

来源：中时电子报2017-09-05

但其制程复杂，机台设备投资大，使成本几乎为传统电池的两倍以上，因此如何降低ibc制造成本，是目前各国开发重点。...半导体产业中常用的离子注入技术，虽均匀性较佳、结深精确可控但成本高昂，如何达到量产化，是目前最具挑战的关键议题。

来源：中国电力报2017-04-20

传统电池生产线只需要再加两台设备，就可以把perc生产线效率提高1个百分点。王文静表示，近两年比较热门的新型晶体硅太阳能电池技术还有hjt。...目前，国内外有关硼离子掺杂的方法主要有减压扩散法、离子注入法等。运用减压扩散法时，硼和氧气形成三氧化二硼，沸点可以达到1600摄氏度以上。

来源：北极星太阳能光伏网2017-04-13

该公司创新性地将离子注入技术应用于n型太阳能电池生产中，产品实现了正面大于21.0%、背面大于19.0%的高转化效率。...中来股份全资子公司泰州中来光电科技有限公司与江苏中军金控新能源有限公司签署了“600mwp光伏并网电站项目光伏组件设备采购合同”，标的为n型双面315w单晶组件，合同金额总计为人民币20.28亿元。

来源：北极星太阳能光伏网2016-09-28

英利测试一车间的李明是自动测试线合并工位改造项目的主要负责人，通过工艺改良，将车间自动测试设备原本两个工作并不饱和的工位合并，实现了各种检测设备的高度集成。...英利集团863项目展示博览会上，英利基于离子注入技术的新一代熊猫高效n型单晶电池成为明星展品。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。...及时跟进高效率砷化镓及有机薄膜电池技术产业化进程；光伏生产专用设备技术，包括支持还原、氢化等多晶硅生产设备、大容量高效率多晶铸锭炉和单晶炉、多线切割机、硅片测试分选设备、多晶在线制绒设备、减压扩散炉、全自动丝网印刷机等的研发与产业化

来源：PV-Tech2015-08-20

左右，并且为太阳能电池应用推出其首个离子注入设备。...在单一设备中利用离子注入机的优势来创造选择性发射极模式，将必然在很大程度上消除至今阻碍广泛的选择性发射极部署的多阶段过程及设备类型。

来源：苏州市政府2015-05-06

重点发展高效低成本光伏电池核心生产设备，大力支持产学研合作研发高效率晶硅还原、高端切割、全自动丝网印刷、平板式镀膜、离子注入、等离子化学气相沉积、真空溅射、硒化、激光划线等工艺和装备，提升硅晶光伏电池生产的核心竞争力

来源：国家发改委2015-04-02

3.7电池工序通过在晶体硅片表面腐蚀制绒、扩散或离子注入形成pn结、沉积减反射膜以及制备金属电极，形成将太阳辐射能直接转化成电能的光伏器件的工序。...3.9生产系统生产产品所确定的生产工艺过程、装置、设施和设备组成的完整体系。3.10辅助生产系统为