来源：摩尔光伏2020-03-16

按照实验的要求设定镀舟的条件，包括气体流量、压力、温度、时间等条件。用饱和后的石墨舟承载硅片，按照实验的要求设定镀膜工艺。...这是由于同一条件下，反应气体流量相同，比表面积大的区域沉积的氮化硅厚度越小，而比表面积小的区域则反之。相比之下，片2表面均一性较好且无色差，如图4。

来源：摩尔光伏2020-02-05

（1）预淀积时携带源的气体流量过大。...如cvd预淀积时源的浓度过高，液态源预淀积时通源的气体流量过大或在通气时发生气体流量过冲；（2）源温过高，使扩散源的蒸气压过大；（3）源的纯度不高，含有杂质或水份；（4）预淀积时扩散温度过高，时间太长；

来源：电子世界2019-02-26

sinx薄膜除了具有良好的钝化效果外，采用pecvd法制备的sinx薄膜还具有良好的减反射功能，随着反应气体硅烷和氨气气体流量比例的不同，sinx薄膜的折射率可在1.8～3.3的范围内调整，实际生产中可通过调整气体流量

来源：光伏领跑者创新论坛2018-11-02

这两个工艺过程中的温度，气压，气体流量影响着扩散方阻的大小、方阻均匀性、制结深度，进而影响太阳电池的光电转换效率。...3.2工艺流量优化低压扩散中磷原子沉积于硅片表面的速率远快

来源：摩尔光伏2018-05-28

在扩散工艺中，影响扩散后硅片方块电阻的工艺参数有大氮气体流量、小氮气体流量、氧气流量、扩散温度、扩散时间和源瓶温度等参数。其中，扩散时间和扩散温度是大规模生产中常用的调整方阻的工艺参数。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-29

印刷良好的前提下，各温区温度、气体流量、带速等是影响烧结效果的重要因素。因为要形成良好的接触，就必须达到一定的温度，由于ag、al与si等的性质不同，就需要不同温区来分别实现他们的合金化。

来源：Solarzoom2013-08-02

通过中空的ds块、气体冷却器、泵组、变频器等组成可控气体流量的闭合气路，以流动气体对ds块进行直接冷却，并通过ds台上的温度反馈调节泵组电机速度来控制冷却气体流量，从而实现精确的ds台温度控制。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-11-14

新型tmp泵包含了革新性的旋转设计，与现有产品相比，在高气体流量下可提高40%的处理能力，并增加接近90%的最大气体流量。这有助于减少占位面积，为制造商节省宝贵的空间，以及安装时间和成本。

来源：日经电子2012-05-29

据介绍，这点可通过增加气体流量等改进措施加以改善。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-08

4.硅片吹不干调整吹干气体流量（作者赛维工艺部）

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-23

在印刷状况稳定的前提下，温区温度、气体流量、带速是烧结的三个关键参数。2、由于要形成合金必须达到一定的温度，ag、al与si形成合金的稳定又不同，所以必须设定不同的温度来分别实现合金化。...从烘干区上部的对流加热器中吹出温度受控的气体，吹到腔室中，在从烘干区的两头将气体抽出，保证从硅片挥发出来的焦油被对流加热器吹出的热气带出腔室内，而不会导致硅片挥发出来的热焦油在机器出口处冷凝而回流到设备里

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

图2反应室的结构、气体流向三、结论和探讨通过实验可以看出，见表1，随着工艺气体总流量的增加，膜的厚度呈上升趋势，也即成膜速度呈递增趋势，但超过一定流量后又呈下降趋势。

来源：21IC电子网2011-08-10

pecvd系统主要工艺参数包括射频功率、反应气体组分、气体总流量、衬底温度和反应压力等，这些参数对sin薄膜的性能有很大影响。...由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

该公司最新推出的jdf200-3fs太阳能电池扩散炉可供太阳能电池片生产线上125mm×125mm、156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用，主要特点和优势如下： ◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量