来源：北极星太阳能光伏网（独家）2024-12-30

微导纳米将“基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目”的预定可使用状态时间延期至2025年12月。值得关注的是，作为下游终端的光伏电站，项目延迟开始增多。

来源：北极星太阳能光伏网2024-12-19

”予以结项，同意将募投 项目“基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目”达到预定可 使用状态时间由2024年延期至2025年12月...对于分募投项目延期的原因，公告指出，在项目实施过程中，下游光伏行业出现

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2024-09-26

据了解，在2017年perc技术进入产业爆发期时，通威便凭借着前期持续的研发投入与自身过硬的技术实力，先后在原子层沉积背钝化、选择性发射极工艺，以及双面电池等技术领域形成了具有自主知识产权的多项技术成果

来源：北极星太阳能光伏网2024-07-08

项目拟租赁合肥京东方显示技术有限公司3号建筑楼4层总建筑面积约1.8万平方米，购置磨边机、激光划线机、湿洗机、磁控溅射机、干洗机、 涂布机、热烘烤炉、蒸镀机、原子层沉积装置、反应式等离子体沉积机、封装组件

来源：北极星太阳能光伏网2024-06-03

2022年12月，以光伏设备为主营业务的微导纳米成功在科创板上市，募集资金约10亿元，分别用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目和补充流动资金

来源：山东省政府2024-01-24

支持钙钛矿太阳能电池材料（钙钛矿材料、透明导电氧化物镀膜玻璃、吸光材料等）、生产装备（激光设备、原子层沉积设备等）、电池组件等领域项目建设和技术突破，引导钙钛矿太阳能电池产业链各环节快速发展。

来源：四川省发展和改革委2024-01-15

四、项目设计、建设单位在落实节能报告各项措施基础上，应改进和加强以下节能工作：（一）鉴于磁控溅射沉积设备、化学气相沉积设备、化镍镀镍湿法设备、镀铜镀锡湿法设备、线性源多源蒸镀机、pvd蓝黄膜一体机、原子层沉积设备

来源：晟成光伏2023-10-17

晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及 装备开发项目基于空间式sald的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层sno2膜层以及封装阻水层al2o3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-23

（二）基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目项目拟基于公司现有ald设备产线进行升级扩产，开发适用于半导体的ald设备，新增年产40套ald设备。...本次募集资金总额扣除发行费用后，拟全部用于公司主营业务相关的项目及主营业务发展所需资金，具体如下：（一）基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目项目拟基于公司现有ald设备产线进行升级扩产，开发适用于光伏

来源：南京大学2022-05-27

为了克服上述互连结构中的离子扩散难题，团队巧妙地采用原子层沉积（ald）制备致密的sno2电子传输层（ald-sno2），该ald-sno2层可完美地保形沉积于子电池间的互联区域，有效阻隔了互连结构中钙钛矿与金属间的直接接触

来源：通威集团2021-07-14

通威太阳能在原子层沉积背钝化、选择性发射极工艺、双面电池、多主栅、hjt电池、高效组件等核心技术领域形成了具有自主知识产权的多项技术成果。

来源：先导智能2021-04-22

此次无锡尚德与先导智能、江苏微导合作研制开发的高效topcon 光伏电池整线智能工厂采用了行业领先的基于工业互联网技术的数字化智能工厂解决方案、基于ald 原子层沉积镀膜技术、丝网印刷技术的 topcon

来源：通威股份2021-04-19

年报信息显示，太阳能电池方面，公司在原子层沉积背钝化、选择性发射极工艺、双面电池、多主栅、hjt电池、高效组件等核心技术领域形成了具有自主知识产权的多项技术成果。

来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-09-30

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-06-28

据了解，微导纳米以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：资本邦2020-06-23

公司以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：盖世汽车网2020-04-23

表面积大unist团队利用原子层沉积（ald）将氧化铝（al2o3）层涂在硅导电带上，使硅表面钝化。...据外媒报道，韩国蔚山国家科学技术研究院（unist）的研究人员研发了一款可伸缩无色太阳能电池，转换效率可达8%，经过数十次弯曲测试后，性能仍可保持在95%左右。

来源：国家税务总局2019-12-12

低压扩散设备、原子层沉积设备等设备和所需的零部件、原材料免征关税和进口环节增值税。...《国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2019年修订)》和《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录(2019年修订)》，即附件一和附件二中的第十五章节，对光伏领域所需的进口化学气相沉积设备，

来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd