来源：格隆汇2020-10-13

无锡松煜科技有限公司是从事高端智能装备开发、生产、销售的光伏设备及半导体工艺设备制造商，目前主要产品为原子层沉积设备(ald)、扩散设备、氧化设备和pecvd设备。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-09-30

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：科创板日报2020-08-06

2014年起，理想晶延开始布局高效光伏背钝化设备开发，采用国际先进的ald（原子层沉积）技术，自主研发了氧化铝背钝化ald设备。...据了解，至2016年ald市场份额不足10%，但从2018年开始至今新增的perc（背钝化高效太阳能电池）产能中的ald工艺路线占比已超过60%。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-06-28

据了解，微导纳米以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：资本邦2020-06-23

公司以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：光伏新闻2020-06-22

一、perc专利战如鲠在喉韩华专利的核心是ald镀氧化铝+pecvd镀氮化硅的结构，以及用此结构来生产出来的太阳能电池，该技术主要应用于perc电池中，而perc电池早已成为主流电池工艺，据不完全统计，

来源：摩尔光伏2020-05-19

电池制备工艺依次为：去除rena机械损伤层和酸制绒、pocl3磷源管式扩散形成p-n结、干法刻蚀、背面ald沉积a12o3钝化膜、正面管式pecvd沉积sinx 钝化膜、背面管式pecvd沉积sinx

来源：北极星太阳能光伏网2020-05-09

4月17日，晋能连发8条招标公告，采购内容涉及项目抗lid设备、自动化及辅助设备、热制程自动化、丝网印刷设备、ald设备及掺杂、消融激光等设备改造招标，和项目自动化设备（一标段）及项目划焊一体机（一标段

来源：盖世汽车网2020-04-23

表面积大unist团队利用原子层沉积（ald）将氧化铝（al2o3）层涂在硅导电带上，使硅表面钝化。

来源：山西省招标投标公共服务平台2020-04-17

（简称“晋能光伏”）连发八条招标采购公告，用于采购其高效单晶perc电池及组件166技改项目的光伏设备及原有光伏设备改造等，采购内容涉及项目抗lid设备、自动化及辅助设备、热制程自动化、丝网印刷设备、ald

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。

来源：摩尔光伏2020-02-21

pecvd还是ald？下面是摘取王文静老师演讲ppt的内容。（来源：微信公众号：摩尔光伏）下面是丰盛装备王俊朝的演讲ppt，详细介绍这几种路线。有删减。

来源：太阳能杂志2020-02-20

采用pecvd、ald...背抛光后硅片印刷氧化铝并烧结，使用wt-2000 设备测试少子寿命值在10 μs 左右；完成氧化铝及正、背面氮化硅镀膜后进行烧结，测试少子寿命，达到33 μs 以上，如图6 所示；这与采用ald 方式制备的黑硅

来源：国信证券2020-02-18

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线 上额外增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或 ald 设备）和激光开槽设备即 可。perc 核心产品为 pecvd 设备、丝网印刷等。

来源：电缆网2019-12-31

solaytec的业务是积极开发，供应和维修用于太阳能电池的原子层沉积（ald）的机器。

来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd

来源：光伏测试网2019-11-18

随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”

来源：光伏测试网2019-11-15

行业专家认为，技术上看，目前隆基、晶科等公司的perc技术产品采用的是pecvd技术，与涉案韩华专利采用的ald技术技术方法并不一致；此外韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得，其专利权与其他公司共有

来源：光伏新闻2019-11-06

早在二十年前gtsolar公司也做过铸造单晶技术的研发，后来放弃了；另外ald早期也为bpsolar产品研发过铸造单晶设备。

来源：纳米人2019-09-25

利用原子层沉积（ald）沉积sno2薄层。超薄金层（1nm）通过热沉积在sno2和pedot：pss层之间。相应的pv参数为总结在表1中。