来源:中国知识产权报2017-05-23
多晶硅纯度是衡量产品品质的关键指标,为此,中国恩菲从提高原料三氯氢硅的纯度入手,攻克了高品质多晶硅原料提纯的难题,发明了三氯氢硅合成、高效筛板与填料组合的加压精馏提纯技术,将原料三氯氢硅的纯度精馏至9n