来源：北极星太阳能光伏网2020-03-19

项目总占地面积约100亩，新建厂房及辅助用房建筑面积61000平方米，拟优选和引进国外先进的单晶制绒、扩散、湿刻蚀、激光刻蚀、烧结等生产设备，优选国内背钝化、pecvd、退火、丝网印刷、测试等关键设备。...1、浙江爱康光电科技有限公司5gw高效异质结（hjt）光伏电池及叠瓦组件项目（湖州长兴）项目概况：总用地430亩，新建建筑面积41万平方米；购置hjt专用硅片清洗机、pecvd、rpd、丝网印刷系统、叠瓦组件封装系统生产及辅助设备

来源：摩尔光伏2020-03-16

2.2硅片表面均一性对氮化硅膜色差的影响传统晶硅太阳电池的生产工艺过程分别为清洗制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷和烧结等步骤，其中清洗制绒工艺将严重影响硅片表面的绒面的均一性。

来源：海通证券2020-02-28

异质结电池的制备分为4 个步骤，清洗制绒、非晶硅沉积、tco 沉积和丝网印刷。

来源：太平洋证券2020-02-20

重点推荐晶盛机电（晶体生长及加工设备）、捷佳伟创（氧化炉、沉积炉、pecvd、hjt 制绒清洗、rpe 及丝网印刷设备）、迈为股份（丝网印刷设备、hjt 整线解决方案）、上机数控（硅片加工设备）、帝尔激光

来源：太阳能杂志2020-02-20

由于黑硅制绒已经使用sc1 去除金属污染，因此背面抛光及清洗采用槽式设备依次经过koh+h2o2 → koh+ps30→di→hcl+h2o2(sc2)→di→hcl+hf→di→加热di → n2 烘干

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-17

从结构上来说，异质结一般以n型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的n型czc-si正面依次沉积厚度为5-10nm的本征a-si:h薄膜(i-a-si:h)、p型a-si:h薄膜(p-a-si：h)，从而形成

来源：摩尔光伏2020-02-13

故制绒清洗后的硅片要尽快转移至cvd工序，生产中需将制绒后q-time时间压缩至极致。由于rca清洗化学品耗量较大且废液处理成本较高，目前行业内开始使用臭氧超纯水清洗代替rca完成硅片制绒后清洗工作。

来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

al-bsf电池片生产工艺包括制绒清洗、扩散制结、刻蚀、制备减反射膜、印刷电极、烧结及自动分选七道工序，各道工序采用自动化程度较高的生产设备。...其中，捷佳伟创是电池片设备商龙头（核心产品包括制绒清洗设备、扩散设备和管式pecvd），迈为股份是丝网印刷设备龙头，罗伯特科是自动化设备的领先企业。

来源：评安机械PAJX2020-02-11

hjt电池分为四道工艺，制绒清洗、非晶硅镀膜、tco镀膜和丝网印刷。公司率先突破：1）开拓适用于hjt电池的丝网印刷设备；2）研制hjt非晶硅镀膜的核心设备板式pecvd，并具备整线供应能力。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

主流上，hit产线共涉及四项设备：用于清洗制绒的rca、用于非晶硅薄膜沉积的pecvd、用于tco膜沉积的pvd、和用于电极金属化的丝网印刷，在这四条赛道上，中国的设备企业已经蓄势待发。...在前perc时代，设备厂商的竞争相对含蓄，合作才是四家巨头公司的主流，其中，迈为股份主做丝网印刷、帝尔激光主做激光切割、罗伯特科主做智能自动化、捷佳伟创则主要以制绒、清洗、退火、抛光等设备为主，颇有一点泾渭分明的意思

来源：女柚子之路2020-02-10

因此从工序上来讲，hit电池核心工序就4步，清洗制绒、非晶硅镀膜、沉积tco、丝网印刷，是所有电池工艺中步骤最短的。2异质结电池的优势一、效率高。...异质结电池以n型硅片做衬底，先清洗干净制作金字塔绒面，然后再两侧分别沉积本征非晶硅薄膜，起到钝化硅片两侧悬挂键的作用，然后再接着沉积掺杂非晶硅，制成pn结，pn结就是光伏电池的发电结构，由于非晶硅薄膜横向导电性不好

来源：光伏技术2020-02-06

事件描述从相关人员了解出获悉，设备属于单晶制绒设备，着火区域属于预清洗槽2....最新消息，又有一家光伏行业电池片生产基地制绒设备“着火了”，着火点位于制绒槽体与臭氧槽体之间的抽风管道，着火原因被证实因为设备排风负压低造成。

来源：招商证券机械团队2020-02-04

印刷和制绒相对来说变动较小，制绒这一块比perc要求更高纯净度的清洗，表面不能有一些金属离子；印刷主要是浆料需要使用低温银浆。制绒清洗设备：清洗制绒设备主要包括捷佳伟创、北方华创、yac。

来源：光伏测试网2020-01-31

我们从“制绒清洗-非晶硅沉积-tco膜制备-表面金属化”四个环节，拆解分析hjt电池片非硅成本：（1）制绒清洗16年松下主推rca清洗，目前采用臭氧+双氧水清洗。

来源：光大证券2020-01-20

制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、tco膜沉积、电极金属化。

来源：光伏每日头条2020-01-10

图表1：hit太阳能电池结构示意图资料来源：ofweek行业研究中心 2、hit电池工艺流程 hit电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备。

来源：电新产业研究2020-01-07

hit电池制造工序：清洗制绒非晶硅薄膜沉积tco沉积制作电极测试分档。清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。hit电池要求制作大绒面，制绒难度高于perc。

来源：中信建投2019-12-17

设备选型稳健，后续国产化空间大设备选型方面，爱康第一条线较为稳健，仍以海外设备为主，清洗制绒、pecvd 镀膜、丝网印刷、自动化均选用海外主流供应商，仅第三道镀透明导电膜选用捷佳国产的rpd 设备。

来源：电新产业研究2019-12-16

1.3异质结电池生产工艺异质结电池生产只有四大环节，依次是清洗制绒、非晶硅沉积、tco沉积、丝印烧结，相较于perc和topcon工序大...设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。

来源：摩尔光伏 中信证券2019-12-04

工艺：核心工艺与perc完全不同异质结电池四步核心工艺为清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、导电膜沉积、印刷电极与烧结。