来源：绿色未来2014-12-09

kramer把这项技术称之为喷涂ld（sprayld），改写于原子层沉积（ald）（将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法）。

来源：pv-tech2014-07-31

材料专家akzonobel正在与新加坡太阳能研究所(seris)在新加坡国立大学合作，旨在为氧化铝钝化层工艺提供更低成本的原子层沉积(ald)与等离子体增强化学气相沉积(pecvd)前体。

来源：中国能源报2014-07-02

2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ald原子层沉积al2o3钝化膜设备、超细栅印刷设备、全自动太阳能电池测试分选机等)，2014年这批新设备将进入市场，这不仅使太阳能电池片生产线的产能和转换效率得到明显的提高

来源：PV-Tech2014-05-14

在此基础上采用原子层沉积（ald）技术和卷对卷（rolltoroll）技术探索制备出低成本、大面积、柔性、高效太阳能电池，将极大地满足青岛乃至山东地区对低成本柔性光伏大棚等的需求。

来源：PHOTON2013-12-02

据imec称，这一结果主要得益于一种新的铝氧化物(al2o3)原子层沉积(ald)激光掺杂技术工艺流程。

来源：PV-Tech2013-09-23

据公司称，inperc技术承担了一系列工艺：背表面平整精加工、钝化和激光消融等，其中还包括solaytec旗下inpassion原子层沉积(ald)设备，以在关键领域实现效率提升。

来源：PV-tech2013-09-22

据公司称，inperc技术承担了一系列工艺：背表面平整精加工、钝化和激光消融等，其中还包括solaytec旗下inpassion原子层沉积(ald)设备，以在关键领域实现效率提升。

来源：《科技日报》2013-07-29

该研究的主要作者、博士后研究员卡尔-赫格和同事使用原子层沉积过程，在圆盘上添加了一层薄膜涂层，利用这一技术，他们能整齐划一地包裹粒子并将薄膜厚度控制到原子级，由此可以仅仅通过改变纳米点周围涂层的厚度来调谐系统

来源：《光伏产业观察》杂志2013-04-19

目前，嘉兴微电子设备与仪器工程中心创新团队以技术优势，吸引美国硅谷研究团队来嘉兴开展原子层技术合作，加快了国内开发原子层沉积设备的研制，推进该项目在嘉兴市的产业化。

来源：ne21.com2012-07-05

目前，微电子仪器与设备创新团队以技术优势，吸引美国硅谷研究团队来嘉兴开展原子层技术合作，强强联合，加快了国内开发原子层沉积设备的研制和在嘉兴市的产业化，推出了一系列的拥有自主知识产权和创新的原子层沉积设备产品

来源：Solarzoom2012-06-28

由新加坡太阳能研究院(seris)负责低成本高效率硅基太阳能电池的超快原子层沉积工艺的研发。...其中两项研究主题成为了此次补助申请的焦点：(1)提高硅基太阳能电池制造工艺及技术;(2)黄铜矿型薄膜光伏电池新加坡经济发展局协同新加坡能源创新项目办公室(eipo)宣布，此次研究项目的核心在于全新的制造工艺与技术

来源：solarzoom2012-01-04

由于纳米团尺寸非常小，原子层沉积(ald)工艺已经被证明是生产一些关键电池组件的理想的技术。该设计使用了超薄aldal2o3薄膜来避免活跃光伏层和导电氧化物薄膜层中的复合损耗。

来源：互联网2010-04-08

亮点9：芬兰倍耐克公司研发先进化学气相沉积和原子层沉积设备，大幅度提升薄膜的均匀性、提高太阳能转化效率。　　亮点10：台湾广运集团新型硅片检测系统攻克太阳能生产线易破片关键。