北极星
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      来源:中国电子报2009-03-19

      ,可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种,其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位,2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大