来源：摩尔光伏2020-09-08

据媒体报道，近日，开盛新能源公布500mw异质结太阳电池生产线中标情况，包括迈为股份中标1.88亿元异质结整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计...据介绍，该1gw高效hjt异质结电池是目前国内首家采用国际最先进的清洗制绒机、pecvd非晶镀膜机、pvd沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品三十年无光衰，项目为黑灯柔性智能无人车间

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-07-22

在光伏生产设备方面，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉、管式pecvd

来源：摩尔光伏2020-07-21

磷硅玻璃的存在使得pecvd后产生色差,在pecvd工序将使镀的sixny容易发生脱落，降低电池的转换效率。...rena inoxside 工艺流程renainoxside的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。

来源：贺利氏可再生能源2020-07-10

pecvd沉积掺杂非晶硅或微晶硅层，再经过退火得到掺杂的多晶硅。...图2. topcon工艺流程图 目前用于生长高质量重掺杂多晶硅层的方法有lpcvd（低压化学气相沉积）和pecvd两种。

来源：光伏新闻2020-06-22

一、perc专利战如鲠在喉韩华专利的核心是ald镀氧化铝+pecvd镀氮化硅的结构，以及用此结构来生产出来的太阳能电池，该技术主要应用于perc电池中，而perc电池早已成为主流电池工艺，据不完全统计，...在国内，杭州赛昂的shj电池转换效率达到23．1%,中科院上海微系统与信息技术研究所n-cz硅片制备的shj电池取得23．5%的效率。

来源：苏大光伏校友会2020-06-08

高登赛1gw高效异质结太阳电池项目，采用国际最先进的清洗制绒机、pecvd非晶硅镀膜机、pvd沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品30年无光衰。...项目还是黑灯柔性智能无人车间，全部采用 “物联网+” 管理系统的高智能无人自动化生产线，符合工信部 “工业4.0” 产业标准。目前，该项目的工商注册、项目建设用地选址等前期准备工作已经完成。

来源：河北省发改委2020-06-03

产品覆盖平板显示、led、光伏电池、芯片制造等诸多领域，涉及溅射、蒸发、多弧离子镀等多种pvd技术以及pecvd、lpcvd、mocvd 等多种cvd 技术用单体和连续化生产高技术装备。

来源：光伏們2020-05-19

工艺流程简单 异质结电池的另一项优势在于工艺步骤相对简单，以梅耶博格所开发的整合沉积正反面非晶硅薄膜的 helia pecvd 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜（tco）的helia pvd 设备来说...，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下：01、制绒清洗机 ：电池正反面制绒 02、等离子体增强化学气相（pecvd）沉积正面本征非晶硅薄膜

来源：摩尔光伏2020-05-18

磷硅玻璃的存在使得pecvd后产生色差,在pecvd工序将使镀的sixny容易发生脱落，降低电池的转换效率。...rena inoxside 工艺流程renainoxside的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售...；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉、湿法设备、自动化设备、智能制造车间系统的研发也向大产能、高度自动化、集成化方向发展。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-04-16

pecvd设备项目。...2019年12月，金辰股份将“搬运机器人和智能物料传输仓储系统”和“光伏电池片生产自动化系统”两个募投项目尚未使用的募集资金用途变更至新募投项目“年产40台（套）”遂穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式

来源：五维汇财2020-04-14

加工设备：捷佳伟创：晶体硅太阳能电池设备供应的国内龙头，电池片核心设备pecvd的市占率均超过50%;公司完全掌握了mwt. n-perc、 topcon等技术，并对下一代电池技术hit深入研究。...光伏产业链包括上游硅料、铸锭（硅棒）、硅片，中游电池片、电池组件、薄膜光伏组件以及下游应用系统（包括发电系统、运维监测系统、逆变器）等六个环节，中国是上中游产品主要生产国之一。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-04-10

罗博特科光伏业务营收占比达99%，主要为光伏电池片生产商提供自动化生产配套设备，产品包括扩散、pecvd、perc、蚀刻及测试分选自动化设备。...2019年，罗博特科智能制造系统业务较上年增长14.98%，毛利率22.71%。

来源：光伏测试网2020-04-08

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。...1.1 何为钝化接触太阳能电池隧穿氧化层钝化接触（tunnel oxide passivating contacts）电池的概念由德国夫琅禾费太阳能系统研究所(fraunhofer-ise)于2013年提出

来源：北极星太阳能光伏网2020-03-19

1、浙江爱康光电科技有限公司5gw高效异质结（hjt）光伏电池及叠瓦组件项目（湖州长兴）项目概况：总用地430亩，新建建筑面积41万平方米；购置hjt专用硅片清洗机、pecvd、rpd、丝网印刷系统、叠瓦组件封装系统生产及辅助设备

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-03-16

相比之下，薄膜电池的产业链则短的多，甚至可以用集约来形容，采用pecvd、磁控溅射等方法沉积，生产自动化程度高，制作工艺可以连续在多个真空沉积室或多片在一个沉积室内完成，企业自身可以掌握生产和技术的脚步...自特斯拉在中国市场推广太阳能屋顶以来，bipv的热度便甚嚣尘上，目前，随着光伏系统的成本下降、建材产品的成本上升，bipv正处于经济型的临界点，与传统的玻璃建材已经相差无几，外观上也越来越潮，长期来看，

来源：光伏测试网2020-03-03

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。...topcon 即隧穿氧化层钝化接触（tunnel oxide passivating contacts）电池，该电池概念由德国弗劳恩霍夫太阳能系统研究所(fraunhofer-ise)于2013年提出，

来源：能源杂志2020-02-18

其中，光伏设备龙头企业捷佳伟创通过取得住友重工（中国大陆地区）独家授权后实现了在pecvd设备上的突破，其研发的生产线已经应用于通威的hjt产线。与巨头联手...据了解，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而hit电池进口设备约为8-10亿元/gw，国产设备约为5-8亿元/gw，perc则只需要2.5-3亿元/gw，hit电池设备成本约为perc的3倍。

来源：国信证券2020-02-18

其中背面钝化镀层包括氧化铝镀层与氮化硅镀层， 市场中存在两种技术路线，一是采用 pecvd+pecvd 两台设备，代表厂商为 捷佳伟创；二是用 ald+pecvd 两台设备，代表厂商为江苏微导。

来源：招商证券机械团队2020-02-04

国内的理想万里晖率先研发出用于hjt的pecvd设备，打破了长期以来国外厂商的垄断，并且在2019年成功竞标某标志性百兆瓦级hjt项目的pecvd设备供应，并陆续升级pecvd推出配套工艺。