来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

工艺设备材料拆解——常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃

来源：中国电力2020-06-10

我国部分高效电池生产设备及关键零部件仍依赖于进口，例如发射极及背表面钝化电池（perc）生产用背表面al2o3镀膜设备产能70%以上集中在欧洲和韩国企业，n型双面钝化电池（n-pert）高温硼扩散炉80%

来源：天风机械团队2020-06-02

公司主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。...其中，半导体掺杂沉积光伏设备包括扩散设备和pecvd设备等，湿法工艺光伏设备包括清洗设备、制绒设备和刻蚀设备等。主营构成来看，半导体掺杂沉积光伏设备是

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售...、管式等离子体沉积炉、湿法设备、自动化设备、智能制造车间系统的研发也向大产能、高度自动化、集成化方向发展。

来源：光伏荟2020-03-02

这些现有电池产线能够兼容升级的硅片尺寸极限就是166mm，扩散炉、pevcd、丝网印刷、排版串焊等主要设备均可兼容166硅片，因此将硅片尺寸从m2调整为166mm尺寸，仅涉及少量设备改造，代价较低，而适用

来源：国信证券2020-02-18

其中，捷佳伟创的核心产品 pecvd 设备和扩散炉均为自主研发，采用的核心技术和设备关键性能整体均处 于国际先进水平。

来源：太阳能杂志2020-02-10

取制绒后待扩散的硅片放于扩散炉炉口位置，测试其扩散后的方阻，并测试成品电池的电性能、el反向漏电情况。表5为扩散后的方阻测试数据。由表5可知，硅片扩散后测得的方阻介于91～103ω/□之间。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-01-21

而在电池环节，主要设备扩散炉、pevcd、丝网印刷、排版串焊设备均可兼容166硅片，在层压环节则比较吃力，已经达到设备极限。总体来看，将硅片尺寸调整为166mm,仅涉及部分设备改造，其余设备均可兼容。...从相关设备商处了解到，在硅片拉棒和切片环节，涉及单晶炉、截断机、开方机等设备，其中单晶炉热屏尺寸和开方机加工尺寸余量充足，关键在于截断机，其规格范围虽可满足166尺寸，但已接近设备加工规格上限。

来源：光伏們2020-01-03

正在被出售的tempress holding bv是位于荷兰的扩散炉制造工厂。...据其官网介绍，tempress在研发和生产扩散设备及相关流程方面有45年的历史，为全球太阳能制造业提供了近25gw的扩散炉系统。

来源：电缆网2019-12-31

这家固定设备制造商近日表示，现在正在完成剥离荷兰扩散炉系统制造商tempress holding bv的最终步骤，以便可以专注于功率半导体和碳化硅市场。...今年7月，这家位于美国的资本设备制造商amtech systems宣布已出售其solaytec太阳能机械业务，并正在与有意收购荷兰扩散炉系统制造商tempress的各方进行谈判。

来源：太阳能杂志2019-11-27

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳电池与光伏组件的生产，到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力；部分产品，如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉

来源：SOLARZOOM光储亿家2019-11-15

“工艺改动虽然不大，只要改扩散炉和隧穿就能从现有的单晶perc产线升级到topcon，但是稳定性到现在也没有办法完全保证”，设备厂商代表告诉记者。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-10-24

第一台国产软着陆扩散炉、第一台管式pecvd，业内首条高效perc电池智能制造生产示范线……拥有如此多“第一”的湖南红太阳光电科技有限公司（简称“红太阳光电”）是怎样做到的？...据卫桁介绍，在光伏装备领域，红太阳光电目前已研发生产了sfq-626xxzr全自动清洗机、m5110-6wk/um型高温低压氧化炉、pecvd镀膜设备、y05-4/um型太阳能电池测试分选设备等二十多种光伏装备产品

来源：挖贝网2019-10-17

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：雪球2019-09-24

“提升扩散炉m6大硅片的产能需通过加长炉体恒温区设计增大产能以降低成本，单管产能1600片m6大硅片将成为未来扩散炉的主流。”王玉明总结道。...,对于内径290mm的扩散炉来说是可行的。

来源：光伏头条2019-09-24

“提升扩散炉m6大硅片的产能需通过加长炉体恒温区设计增大产能以降低成本，单管产能1600片m6大硅片将成为未来扩散炉的主流。”王玉明总结道。...,对于内径290mm的扩散炉来说是可行的。

来源：光伏测试网2019-08-30

pn结，在此工艺中所涉及设备为tempress扩散炉、r2d自动化、捷佳创低压扩散炉;三是边缘刻蚀和去磷硅玻璃，此环节需要仪器schmid刻蚀机、schmid自动动化仪器;四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜

来源：巨潮资讯网2019-08-28

据悉，捷佳伟创主营业务为pecvd设备、扩散炉制绒刻蚀清洗自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要研发、制造和销售。

来源：光伏变迁见证者2019-08-01

所以只好自己盖1gw n type topcon 电池线（晶科下给tempress的n 型扩散炉订单，在其母公司amtech宣布退出光伏事业之后）。

来源：招商证券研究所2019-06-25

，新建产能和改造产能比例约为 8：2，而新建产能设备投入约 3亿元\/gw，改造产能设备投入约 0.8亿元\/gw，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉