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一、公司简介
江苏光启灵犀装备有限公司,成立于2024年10月份,坐落于江苏省淮安市洪泽电子科技产业园,厂房面积4000m2。公司以研发和生产光伏设备为主要业务,通过开发新的材料,结合电池生产工艺形成装备。公司管理层及技术骨干,由海归博士和江苏省双创人才组成,设备制造由十多年行业经验人员组成,团队体系健全。主营产品:TBC电池链式光刻机设备、HBC电池链式光刻机设备、TOPCon链式光刻机设备、光刻胶、显影液。
自主研发光刻设备、光刻胶和显影液,提供材料、电池工艺和装备全方面的服务。
二、光刻的优势
1、效率潜力高:BC电池量产平均效率高于27.0%,仍然有1.5%以上的提效空间,光刻将会助力提效;
2、产能提升2-3倍,初始投资下降50%-70%:整片产能15500片/h,半片产能27000片/h;p和n图形化双工序,设备投资1400万元/GW;
3、BC无需酸抛工序:采用链式光刻工艺,去胶过程中可以去除正面绕镀,无需酸抛工艺;
4、图形精度高:poly的宽度均匀性达到1%-2%,极差8 um;
光刻形成190 um宽度的poly-Si finger图形
5、无损开膜,适合复杂图形化且不损失产能:相比于激光采用高温开膜,光刻是通过湿法开膜,并且不产生热损伤。光刻采用一次曝光网版,只需更换掩膜板,无需牺牲产能;
6、高双面率:光刻属于低温工艺,可以进一步降低poly-Si厚度。
三、设备简介
目前TBC电池图形化设备已在客户端试验,应用于182.2*105大尺寸矩形片电池工艺,包括链式PSG(n+-poly-Si)光刻机、链式BSG(p+-poly-Si)光刻机。2025年,推出新的3款产品,主要是应用于TOPCon正、背面的poly-Si finger(p+、n+)及HBC电池图形化。
BC电池链式光刻机,长度范围18-22米,包括链式滚涂光刻胶、曝光对位系统、湿法系统三大部分。
TOPCon poly finger链式光刻机,长度范围8-9米,包括链式滚涂光刻胶和曝光对位系统两大部分。设备已具备量产能力,7月份将会出货24轨大产能半片量产机。
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