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HWCVD Vs. PECVD
一次8片;
可实现 in、ip、双面TCO的不破真空连续镀膜
自行设计、国内公司生产
热丝加工
新热丝做的本征非晶硅的钝化效果明显优于对比热丝。
a-SiOx:H 制备过程中的热丝氧化问题可通过工艺参数的 调节解决
镀膜+热处理 温度协同作用
仅衬底加热,220℃较优!
衬底温度100℃、275℃ 热处理最优!
镀膜+热处理 温度协同作用
黑色:热处理前 红色:热处理后
适当降低基 片温度,镀 膜后热处理 获得较好少 子寿命值。
IN、IP两面连续镀(片子不接触大气)
不破:IN、IP连续镀膜
破:IN镀膜后退出真空 腔体外,停留40min。
连续镀明显优
小 结
热丝可以在国内解决;
IN、IP连续镀膜不破真空的设计可行;
镀膜温度与后处理加热的工艺协同调控,钝化效果更优。
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5月26日,亿晶光电发布公告称,公司控股股东深圳市唯之能源有限公司(以下简称“唯之能源”)持有的2亿股无限售流通股将被司法拍卖,占其所持公司股份的100%,占公司总股本的16.90%。若本次拍卖完成,唯之能源将不再持有亿晶光电股份,公司控股股东及实际控制人将发生变更。此次拍卖由广东省深圳市福田区
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