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川崎重工业开发出了用于制造薄膜太阳能电池的激光制模机。特点是加工速度提高到了1万~2万mm/秒。
薄膜太阳能电池通常在玻璃基板表面层叠透明电极膜、半导体膜(发电层)及金属膜等,在层叠这些膜的过程中需要使用制模机实施电路成形(开槽)加工。据川崎重工介绍,现有制模机的刻划速度为2000mm/秒左右。而要想使太阳能电池实现低成本化,制模机需要具备更高的刻划速度。另外,为了提高太阳能电池的发电效率,刻划线的高品质化也备受期待。
此次开发的制模机由激光照射装置和搬运部分构成。将加工速度提高到了1万~2万mm/秒。另外,以往需要使玻璃基板处于停止状态才能加工,而此次无需停止玻璃基板即可在激光照射装置上通过,实施刻划加工处理。也就是说,能够连接进给玻璃基板。通过这些改进,缩短了每块玻璃基板的加工时间及加工间歇时间。另外,此次的制模机刻划出的沟槽宽度均一,可形成凹凸及毛刺少的光滑形状,有望为非发电区域的最小化以及发电效率的提高做出贡献。该制模机的外形尺寸为3500mm×2300mm×1500mm。可加工的基板最大尺寸为1400mm×1100mm。
今后川崎重工还打算将此次开发的制模机与已上市的晶圆高压喷射清洗机相组合,提供整套系统。
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