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西门子化学气相沉积反应器

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国内外多晶硅领先企业的发展概况

类别:多晶硅来源:2019石英大会2019-09-05 08:32:52

使用化学气相沉积反应器技术工艺,将三氯氢硅转化为纯度高达99.999999999%的高纯度多晶硅。...rec是硅烷流化床生产工艺的代表,其每年多晶硅产量中,约80%为流化床工艺生产,10%为西门子法生产,还有部分电子级多晶硅产品。

类别:PECVD来源:TaiyangNews2017-03-16 11:24:36

对于硅材料生产商而言,西门子化学气相沉积(cvd)反应器依然是主流,而流动床反应器(fbr)则成为了商业生产中应用的另一种技术。...本市场报告包括了在这一领域的七家领先的设备供应商的产品,调查了他们提供的西门子反应器的技术指标。

类别:多晶硅来源:pv-tech2014-11-05 14:03:24

最初,其考虑使用schsilicontechnology的甲硅烷化学气相沉积(cvd),之后其转变为sitec(centrothermgroup)的三氯氢硅cvd概念(西门子法)。...其次,基于甲硅烷或三氯氢硅,一个新的进入者无法回击启用成熟的西门子法的低成本中国多晶硅生产商。因此,idea已经通过与recsilicon联系,进行向流化床反应器的下一轮技术转换。

类别:其他来源:中国新闻网2011-09-21 14:29:04

公司的大型高效化学气相沉积反应器设备和工艺和大规模高效、低成本氯氢化等核心工艺不断取得进步,经济技术已达国际先进水平,成本优势进一步得到巩固。...谈起在上海参与的项目筹备工作,协鑫集团坚定走引进、消化吸收、再创新的路线,突破发达国家的技术垄断,分段引进、整合多晶硅西门子工艺的各项关键设备和工艺技术。

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