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气体流量

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北极星为您找到“气体流量”相关结果22个
是什么造成了管式PECVD氮化硅膜出现色差?

类别:来源:摩尔光伏2020-03-16 09:05:50

按照实验的要求设定镀舟的条件,包括气体流量、压力、温度、时间等条件。用饱和后的石墨舟承载硅片,按照实验的要求设定镀膜工艺。...这是由于同一条件下,反应气体流量相同,比表面积大的区域沉积的氮化硅厚度越小,而比表面积小的区域则反之。相比之下,片2表面均一性较好且无色差,如图4。

类别:硅片来源:摩尔光伏2020-02-05 08:06:49

(1)预淀积时携带源的气体流量过大。...如cvd预淀积时源的浓度过高,液态源预淀积时通源的气体流量过大或在通气时发生气体流量过冲;(2)源温过高,使扩散源的蒸气压过大;(3)源的纯度不高,含有杂质或水份;(4)预淀积时扩散温度过高,时间太长;

【存照】全球可再生能源领域的16项创意 包括熊猫电站!

类别:来源:国际能源小数据2019-09-17 09:01:54

4. homebiogas 2.0将食物残渣变成了气体!细菌消化废物并将其转化为沼气。该设备每天最多可消耗6升废物......并且可以产生长达3小时的烹饪气体。它甚至可以制造肥料!5....它们由pavegen制造,每步可产生高达7瓦的功率,在高流量区域的城区中最有效。该公司甚至使用瓷砖为特斯拉充电!7. gosun grill使用阳光供电。

晶硅电池表面钝化技术研究进展

类别:太阳能电池来源:电子世界2019-02-26 09:04:54

sinx薄膜除了具有良好的钝化效果外,采用pecvd法制备的sinx薄膜还具有良好的减反射功能,随着反应气体硅烷和氨气气体流量比例的不同,sinx薄膜的折射率可在1.8~3.3的范围内调整,实际生产中可通过调整气体流量

类别:太阳能电池来源:光伏领跑者创新论坛2018-11-02 11:51:02

这两个工艺过程中的温度,气压,气体流量影响着扩散方阻的大小、方阻均匀性、制结深度,进而影响太阳电池的光电转换效率。...3.2工艺流量优化低压扩散中磷原子沉积于硅片表面的速率远快

激光掺杂选择性发射极单晶硅太阳电池的工艺研究

类别:来源:摩尔光伏2018-05-28 14:44:46

在扩散工艺中,影响扩散后硅片方块电阻的工艺参数有大氮气体流量、小氮气体流量、氧气流量、扩散温度、扩散时间和源瓶温度等参数。其中,扩散时间和扩散温度是大规模生产中常用的调整方阻的工艺参数。

太阳能电池片科普系列——烧结篇

类别:多晶硅来源:北极星太阳能光伏网(独家)2017-11-29 17:10:21

印刷良好的前提下,各温区温度、气体流量、带速等是影响烧结效果的重要因素。因为要形成良好的接触,就必须达到一定的温度,由于ag、al与si等的性质不同,就需要不同温区来分别实现他们的合金化。

太阳能电池片科普系列——流程(电池片)篇

类别:多晶硅来源:北极星太阳能光伏网(独家)2017-11-24 13:38:01

气体以等离子体形式存在时,一方面等离子体中的气体化学活性会变得相对较强,选择合适的气体,就可以让硅片更快速的进行反应,实现刻蚀;另一方面,可利用电场对等离子体进行引导和加速,使等离子体具有一定能量,当轰击硅片的表面时

类别:铸锭炉 来源:新浪博客2014-09-09 13:12:16

水路各元件检查过后,要进行通水试验,看看各冷却水路的进水和出水压力及流量是否正常,如果发现不正常,一定要再进行检查。...rds4.0炉型的保温体是固定的,没有移动机构,此时,要注意保温体上的各个测温孔内部是否通畅,位置是否正确,保温体的气体通道是否畅通,如果有阻流元件,是否已经固定好。

类别:太阳能电池来源:坐下再说2013-12-05 10:47:36

末了,那个中年人沙哑的说道:控制流量,让重力为我们服务。打开制动开关,20分钟后,全场一片欢呼,一个伟大的时代到来了。...他仔细研究了这个工艺,得出以下结论:1.浮法工艺是理论上唯一有可能取代传统工艺,大幅度降低成本,让高质量玻璃走进大众日常生活的途径2.浮法工艺的成功关键在于金属材料的选取,玻璃的气体环境调整,设备的设计

类别:太阳能电池来源:Solarzoom2013-08-02 09:18:51

通过中空的ds块、气体冷却器、泵组、变频器等组成可控气体流量的闭合气路,以流动气体对ds块进行直接冷却,并通过ds台上的温度反馈调节泵组电机速度来控制冷却气体流量,从而实现精确的ds台温度控制。

类别:来源:北极星太阳能光伏网(独家)2012-11-14 13:39:30

新型tmp泵包含了革新性的旋转设计,与现有产品相比,在高气体流量下可提高40%的处理能力,并增加接近90%的最大气体流量。这有助于减少占位面积,为制造商节省宝贵的空间,以及安装时间和成本。

类别:多晶硅来源:北极星太阳能光伏网(独家)2012-07-31 13:25:43

多晶硅在还原炉内的沉积过程受到众多因素的影响,包括还原炉结构、硅棒布置方式、沉积温度、炉内压力、三氯氢硅和氢气的流量以及二者的配比、停留时间以及硅棒的电流、电压等。...但同时由于:①存在soret效应,②hcl和sicl4在高温下对硅棒具有刻蚀作用,③高温导致反应气体不能到达硅棒表面,即化学气相沉积未在硅棒表面发生,而是在高温区的气相中就已经反应了,使得硅粉微粒被气相带出反应器

类别:烧结炉及其他来源:北极星太阳能光伏网2012-05-24 11:09:18

成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关,所以推舟系统是本设备的核心部件。...pecvd技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜

类别:太阳能电池来源:北极星太阳能光伏网(独家)2012-05-08 10:29:43

4.硅片吹不干调整吹干气体流量(作者赛维工艺部)

类别:太阳能电池来源:北极星太阳能光伏网(独家)2012-04-25 10:39:11

风刀用的气体为压缩空气,其中含有部分油和水的混合物,它会玷污硅片表面,从而形成表面缺陷。...湿法刻蚀的硅片,边缘较大主要有以下原因:1)湿法刻蚀溶液粘度不足,主要表现为刻蚀液中h2s04的浓度偏低;2)化学成分配比不适合;3)刻蚀槽流量过大;4)排风量调节不适合;5)传输速度慢等。

类别:太阳能电池来源:北极星太阳能光伏网2012-04-23 10:15:19

在印刷状况稳定的前提下,温区温度、气体流量、带速是烧结的三个关键参数。2、由于要形成合金必须达到一定的温度,ag、al与si形成合金的稳定又不同,所以必须设定不同的温度来分别实现合金化。...从烘干区上部的对流加热器中吹出温度受控的气体,吹到腔室中,在从烘干区的两头将气体抽出,保证从硅片挥发出来的焦油被对流加热器吹出的热气带出腔室内,而不会导致硅片挥发出来的热焦油在机器出口处冷凝而回流到设备里

类别:太阳能电池来源:北极星太阳能光伏网2012-04-19 13:51:19

图3气体流量对效率的影响四、结语可以看出,管式pecvd设备的工艺气体流量的改变,会直接改变膜厚、折射率、吸光系数、少子寿命、转换效率,而其变化不是单调上升或单调下降的,通过该技术分析,可以避免在工艺中为了获得膜均匀而忽略了流量是和电池转换效

类别:其他来源:日中环保生态网2011-10-24 15:21:13

g6型是以薄膜太阳能电池单元、液晶面板单元及半导体制造工序中各种装置所使用的气体为对象的、支持大流量的废气处理装置。...日本荏原制作所开始销售可满足太阳能电池制造工序等的大流量气体需求的新款废气处理装置。该装置可将薄膜太阳能电池单元及半导体制造工序中排放的有毒气体无害化。

类别:其他来源:21IC电子网2011-08-10 15:18:26

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多,如气体流量和流量比,工艺腔温度,射频功率,沉积气压等等,而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数,我们有必要就主要的控制参数进行研究,摸索出在这台pecvd

类别:来源:北京海基科技发展有限责任公司2011-03-22 17:12:07

过热蒸汽和生物质中的含碳组分反应产生燃料气体:氢气和一氧化碳(又叫合成气体)。在发生蒸汽重整反应时,同时发生水-气转换作用并产生额外的氢气和二氧化碳。...另外,flowmaster可以根据用户提出的所需管道流量要求,对管道直径等相应参数进行反向分析,使复杂系统的安全、优化设计变得更加容易。

类别:其他来源:北极星电力网新闻中心2010-10-15 14:03:41

该公司最新推出的jdf200-3fs太阳能电池扩散炉可供太阳能电池片生产线上125mm×125mm、156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用,主要特点和优势如下: ◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量

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