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硅片切割设备日常报警及处理方法(组图)(1)

应用材料公司生产的硅片切割设备--HCT线锯已经成为现如今比较经典的切割硅片的代表设备,无论从切割产能还是从切割稳定性,HCT都具有一定的优势。但是在日常操作中,不免出现一些报警,本文通过对HCT线锯日常的报警进行汇总并提出相应的处理方法,以方便大家在今后遇到相同的问题可以轻而易举解决。

1、锥形轴未完全"松开"

此报警是设备激光测距不准造成的,打开机床绕线室门将法兰和所对激光擦拭干净即可。如图(一)所示

图(一)

2、冷却水压力低报警

冷却水压力低是机床冷却部分所供不足造成的,将冷却水补水阀门。(在机床右侧顶部冷却系统处,将三个阀门打开,将压力加大到3bar既可消除)

3、接低报警

接低报警分为三种:一种是中间电压低,二是两边电压低。

中间电压低多数是由于护板不合适所造成的;两边电压低有可能是周围存在着钢线或金属等杂物,又或是掉片引起的,只要将机床杂物或掉片清理干净即可。

4、230v电源断路器跳闸

在后面电器柜中有四个黑包开关,将第二个开关合上既可消除报警,然后打开浆料,慢慢加速后点击切割开始按纽。

5、工作台应变仪报警

主要是因为工作台的实际转距大于设定值,只要进入高级密码后进入工作台界面把设定值改大于实际值即可,而后记得把所改值改回,然后开浆料慢慢加速后点击切割开始

6、锥形轴油压过低

将绕线室门锁上过几秒后就会自动消除,或是锥形轴的液压油缸缺少液压油,导致压力过低,无法弹出锥形轴进行排线。如图(二)所示

 

图(二)

来源:Solarzoom
投稿联系:陈女士 13693626116   QQ: 1831213786
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