深度报告 | 复盘PERC发展历程推演设备未来图景-第7页-北极星太阳能光伏网

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在沉积 TCO 薄膜环节， RPD 工艺应用潜力巨大。PVD 工艺是当前沉积 TCO 薄膜的主流技术路线，在薄膜电池领域应用较为广泛，工艺比较成熟，成本相对较低。相比 PVD 技术，虽然 RPD 工艺成本较高，但采用 RPD 技术可使效率提高大约 0.3-0.5％。参考 PERC电池的背钝化工艺逐步从 PECVD 转向 ALD 的经验，随着 RPD 工艺的成本问题逐步得到解决，RPD 将有望成为更为主流的技术路径。

捷佳伟创 RPD 设备已进入推广阶段，提前卡位 RPD 设备获得先发优势。捷佳伟创在 RPD 等离子抢专利授权后，成功打破台湾厂商 Archers 对 RPD 工艺的垄断，RPD 设备实现突破。其在 2019 年 SENC 上推出的 RPD 设备可达 3000 片/h，研发的 RPD5500 设备毛产能可达到 5500 片/时，开机时间达 90%。同时，捷佳伟创深度绑定下游电池行业龙头客户，在通威异质结试验产线上，捷佳伟创作为核心工艺设备供应商，提供了湿法制程、RPD 制程、金属化制程三道工序的核心装备。随着 RPD 设备应用的不断推广，公司也有望从中受益。

（五）参考 PERC 产能的扩产数据，异质结电池设备市场规模空前广阔

PERC 电池新增产能峰值约为 50GW，异质结电池的峰值或将达到 60GW。PERC 电池量产的可能性在第一阶得到验证，随后，PERC 的产能迅速扩张，在第二阶段 2015-2017 年中，年新增产能约为 2/9/16GW，在进入第三阶段后，PERC 电池的产能进一步爆发，2018 年 PERC 电池的新增产能约为 37GW，2019 年出现峰值，新增产能约为 50GW。当前，电池片需求量约 140-150GW，未来产能累计保有量可能会进一步增加，如果未来异质结对 PERC 形成完全替代，预计其峰值或将超过 60GW。

异质结产能的爆发带来设备市场繁荣，设备进口替代是异质结产能得以爆发的关键因素，因此在异质结的扩张中，国产设备大有可为。东方日升异质结产线全部使用进口设备，1GW 产能在 10 亿元左右，通威将三个环节的设备替换为捷佳伟创的设备，造价降低为 8 亿元。未来随着设备国产化进一步实现，设备造价降低伴随设备产能增强，异质结电池的产线造价或可降至 3-4 亿元/GW。未来，异质结产能爆发之时，根据估算，市场规模或达 180-240 亿元，其中清洗制绒设备约 13.5-18 亿元；非晶硅沉积设备约 72-96 亿元；TCO 镀膜设备约 49.5-66 亿元；丝印烧结设备约 31.5-42 亿元；其他辅助设备约 12.5-18 亿元。各环节，尤其是非晶硅沉积环节，市场空间增量可观，提前布局异质结的设备厂商必将收割大量市场份额。