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6、倒棒问题:
倒棒问题是多晶硅生产中常见的现象,尤其是前期倒棒,许多企业为其所烦。解决此问题的方法主要是对还原炉的控制工艺进行优化,平衡炉内热场,稳 定炉内气流。另外,在安装硅芯的时候要特别注意,必须保证硅芯垂直,且石墨卡瓣固定牢固、卡瓣与硅芯接触良好,避免硅芯亮点出现。
7、爆米花问题:
爆米花问题是多晶硅还原生产中不可避免的现象,其主要是由于炉内温度过高、硅棒生长过快引起的,具体参见前文温度对还原的影响中所述。
由于其与单炉重量、电耗、生长周期等还原指标成反比,因此,对于爆米花的控制需要确定一个生产平衡点,不能因为一味的追求爆米花的长度而影响还原的其他主要指标。
8、硅芯亮点:
硅芯亮点一般是由于硅芯与石墨卡瓣接触不良而引起的。这种现象的存在主要是四个方面,一是石墨卡瓣的设计存在问题,二是石墨卡瓣的加工存在问 题,三是硅芯底部不圆或不光滑,四是在硅芯安装过程中未安装好。上述原因的存在导致硅芯与石墨卡瓣接触不良,从而产生局部电阻过大,产生的热量过多,从而 出现亮点。出现两点后,亮点处由于温度过高,导致此处硅芯熔化,在硅棒没有完全覆盖住石墨卡瓣的情况下,易出现倒芯或是倒棒现象。
9、横梁发黑变暗:
硅棒横梁发黑变暗只要是因为炉内温度过低引起的。如果在硅棒生长前期,则可以适当的增加电流的加载量来对炉内温度进行修复。如果在硅棒生长后期,则很难再进行修正,此时可以考虑提前停炉。
10、拉弧问题:
硅棒拉弧的基本原因是由于硅棒不同位置的温度差异比较大,导致此不同位置之间的硅棒电阻产生比较大的差异,在同电流的情况下就形成了不同的电压 差,这样在一定的距离间就会因为电压差的存在而发生拉弧现象。通常遇到这种情况,在现象初期,可适当降低硅棒电流,减少硅棒的电压差。如果在现象后期,则 需立刻进行紧急停炉,避免损坏电气设备。一般而言,拉弧现象多发生在硅棒的上部接近横梁处。
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