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多晶硅还原反应的影响因素

2012-07-31 13:25来源:北极星太阳能光伏网(独家)关键词:多晶硅硅棒光伏收藏点赞

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这两种喷嘴,对速度的方向分布有影响,但主速度的差别不大。当喷嘴气速大于20m/s时,便可以形成湍流流型,此时喷嘴的形式对湍流而言,已影响不大。喷嘴形式对气流出口方向有较大的影响。喷嘴一般高于还原炉底盘,低于石墨卡瓣尖嘴高度。在喷嘴侧部开孔后对还原炉内空间流体的影响优于无侧孔的喷嘴。还原炉为了保持气体浓度的均匀性,不仅只在底盘中心位置安装一个喷嘴,还在底盘不同半径处增设数个喷嘴以提高进气量和保持气相的均匀性,以促进不同位置的硅棒生长的均一性。12对棒的还原炉就是中底盘中心一个喷嘴,四周均布八个喷嘴。

图10为增设不同位置进气喷嘴后还原炉内流型的变化。

a、仅有中心一个喷嘴

b、增设数个喷嘴

图10、喷嘴对流型的影响

外由于还原炉尾气出口在底部,炉内存在着严重的返混,出口流速也较大,这就势必对从中央喷嘴的侧孔出来的流体有较大的影响,如图11。由于尾气从底盘中央出,导致从侧孔出的流体被直接附带出去。

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