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太阳能光伏PECVD镀膜设备

2012-05-24 11:09来源:北极星太阳能光伏网关键词:PECVD太阳电池光伏收藏点赞

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6.3.3PECVD设备的主要特点

PECVD设备的主要特点(如表6.2)

表6.2PECVD的主要特点

表6.3PECVD设备的优点

PECVD集成了真空、化学、物理、机械、电气、高频等各方面的技术,是一个较为复杂的系统。在设备研究方面,主要解决低温稳定性、粉尘污染、气路气密性、高频辉光放电、全自动计算机控制等技术问题;在工艺研究方面,主要解决膜厚均匀性、工艺重复性、光电转换效率等技术问题。

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