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6.3PECVD的结构、主要性能指标和特点
6.3.1PECVD的结构
PECVD主要由工艺管及电阻加热炉、净化推舟系统、气路系统、电气控制系统、计算机控制系统、真空系统6大部分组成,其设备构成示意图如图6.2所示。
1.电阻加热炉和工艺管
电阻加热炉是特制的高可靠性的发热体,是经过特殊工艺制成,它对恒温区的长度、精度以及稳定度提供了基础,是影响成膜速率和均匀性的必要条件之一。工艺管是引进美国的产品,具有口径大、壁厚均匀无气泡的优良性,它水平置于炉体的中央,两端配有密封法兰,可生产8英寸圆片、6英寸方片,同时经特殊磨口为真空密封提供可靠保证。
图6.2PECVD的结构组成图
2.推舟系统
推舟系统采用软着陆的方式,即将石墨舟放到反应管内部后,推舟机构将退出,自动门关上。载片舟是经特殊设计,在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调,再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关,所以推舟系统是本设备的核心部件。
3.气路单元
气路单元是一个独立体,它的所有使用元器件都是进口产品,具有控制精确、动作可靠和布局合理的优点,为安全生产提供一个先决条件。
4.电气总控制
电气总控系统对气路单元、工艺管、加热炉、推舟系统、真空系统进行控制,为自动化生产提供便利。
5.计算机控制
该设备由计算机自动控制,装片、取片由人工操作。同时有多种报警系统,如超温报警、停水报警、断偶报警等,能为安全生产提供一个可靠的保障。
6.真空系统
真空系统是本台设备的关键之一,它是由罗茨泵机组、电动调节阀、电磁挡板阀、压力传感器和真空管道等组成。
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9月23日、24日,2022年光伏新时代论坛暨第十一届“北极星杯”2022年度光伏影响力品牌评选颁奖典礼在南京举行,光伏产业链企业、行业机构、发电集团、资深专家等一百多家企业和机构代表参加了论坛活动。福建金石能源有限公司战略副总裁金屹应邀出席,产线项目部总经理庄辉虎受邀作《大腔室PECVD对异质结
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