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莱宝光电为Next Energy EWE硅基薄膜光伏研发PECVD工具

北极星太阳能光伏网  来源:PV-Tech    2011/11/10 9:04:43  我要投稿  

北极星太阳能光伏网讯:EWE公司的独立能源技术研究中心NextEnergy,向莱宝光电(LeyboldOptics)订购了Phoebus实验工具以用于2012年开年的NextEnergy薄膜太阳能电池的研发。NextEnergy一直关注硅薄膜技术,他们的科学家也一直在寻找提高电池转换率的方法,他们指出会找到降低成本的技术。

Phoebus实验工具据说可以喷涂衬底5ml厚以及300x300ml的表面,此外还可以喷涂不同形状的小衬底。莱宝光电表示系统和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)共同运作使工具有相同的可扩展过程室布局,此外还提供薄膜电池和三结电池连接处的串联电池以及个体层。

此外该公司还指出,个别的气相沉积在单独进程室中会阻止进程室中的交叉污染。玻璃衬底以持续和稳定的温度保持在不间断的真空中。

NextEnergy光伏部门的负责人KarstenvonMaydell博士就莱宝光电的未来评论到:“灵活的Phoebus实验工具是加速光伏和硅薄膜研发技术领域理想的基础工具。我们利用该系统的可扩展性进一步优化层压太阳能电池,用创新的硅合金开发三结太阳能电池。”

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