Aera FC-DR980C  氧气质量流量计 氮气质量流量计

Aera创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业，

拥有研发及运营团队，掌握流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用，

包括半导体、新能源、 新材料，平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。

Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器，

Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品，

客户包括但不限于原始设备制造商（OEM）和终端用户（END-USER）。

Aera FC-DR980C  氧气质量流量计 氮气质量流量计

性能：

数字和模拟两用型控制

快速的响应 

高精度

高度的可靠性和稳定性

易于整合——标准连接器和尺寸

Aera FC-DR980C  氧气质量流量计 氮气质量流量计

· 规格

· FC-DR980

· Full Scale Range (N2 Eqv)

· 单气体2-5000sccm

· Control Valve Type 阀门类型

· 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

· Fitting
接头

· 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
IGS 底部/表面贴装(c或w密封)

· Seals 密封

· 橡胶 Viton\金属

· Response Time 响应时间

· ≤1Sec(超过满量程10%)

· Accuracy
精确性

· 25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)
2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)

· Linearity 线性度

· ≤ 满量程的±0.5%

· Repeatability 重复性

· ≤ 满量程的±0.15%

· Differential Pressure 压差

· 7 - 40psi

· Leak lntegrity 漏率

· Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

· Control Range 控制范围

· 满量程的2-100%

· Max Operating Pressure 最高操作压力

· 70psi

· Proof Pressure 承受压力

· 最大值140psi

· Communication Type 通讯模式

· 模拟0-5V / RS485

· Input Power
输入功率

· +15VDC ±2% at 100mA
-15VDC ±2% at 200mA

· Command Signal 输入模拟信号

· 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-100%

· Output Signal 输出模拟信号

· 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-100%

· Power Consumption 功耗

· 4.5W

· Temperature Range 温度范围

· 5-45 Deg C

· Materials 材料

· 316LSS,316SS,PTFE

· Weight 重量

· 1.2kg