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产品名称:Aera FC-R7800 氨气质量流量计 硅烷质量流量计

联系人:周芝远
电 话:0755-82379886

产品说明

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 Aera  FC-R7800 氨气质量流量计 硅烷质量流量计

 Aera 创建于美国,是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业,拥有研发及运营团队,掌握行业先进的流体测量及控制技术,专注于高科技工业领域的广泛应用,包括半导体、新能源、 新材料,平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器,Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始设备制造商(OEM)和终端用户(END-USER)。

 

Aera® FC-7800 系列MFC提供的流量控制以极佳的可靠性和超高防漏的金属密封,适合大部分气体控制用,包含腐蚀性气体。 

 Aera  FC-R7800 氨气质量流量计 硅烷质量流量计

性能:

快速的响应,响应时间<1秒.  

精度≤1%FS   线性度小于等于0.5%FS  重复性≤0.2%FS

易于整合——标准连接器和尺寸

高度的可靠性和稳定性

特点:

耐腐蚀性,流量范围从10sccm-200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性连接

全金属密封

常关或常开的电磁控制阀

泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He

 

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