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产品名称:XRD单晶石墨热场生产日常问题解决方法

联系人:仇小姐
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产品说明

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  随着社会经济的发展,很多单晶硅生产厂家在石墨热场的应用都是比较熟练的,原因是有两点:第一、石墨毡保温效果好,厚度达到100毫米,有效的保证了径向梯度温度可能小的条件,第二、热长达的原因可以是石墨坩埚的厚度达到250毫米,扎样可以是上中下保温桶的口径也会足够大,有充分的纵向的散热功能。众所周知石墨坩埚使用方法上的存在的问题就会导致石墨坩埚使用时间减少,从而也给生产商自己增加了成本,信瑞达石墨专业制造石墨坩埚和热场加工件,我们就来具体的聊一聊石墨热场生产中的常见问题,我们应该怎样应对。
 
  热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。  在生产过程中,经常能碰到加热器件损坏的现象,那么石墨器件损坏的原因是什么,应该采取什么样的措施来延长石墨器件的寿命呢?石墨器件的损坏,主要有人为和劣化两个方面的原因。人为方面只要加强管理,强化员工防范意识,就可以将损失降到最低点。这里主要讨论劣化。首先我们来了解 石墨的有关特性,  1.耐高温性,石墨的熔点极高,在真空为3850度,在低压下升华,升华温度为2200度,与一般材料不同,当温度升高时石墨不但不软化,强度反而增高,在2500度时,石墨的抗拉强度反而增加一倍。  2.特殊的抗热震性,石墨的热膨胀性具有各向异性,因而宏观膨胀系数不大,在温度骤变的情况下,石墨的体积变化也不大,再加上其良好的导热性能,因而石墨的抗热震性良好。 诸上两点所述,石墨件应该能够长时间的在高温下稳定工作。
   
  在通常情况下,瓣堝与其他石墨器件如保温罩、加热器相比,都是同样的材料、同一个厂家、同样的工作环境,为什么使用寿命远远低于保温罩和加热器呢? 三瓣堝的断裂主要原因来自于石英坩埚.  1.由于熔硅的密度要大于固体硅,这样在冷却过程中,锅底料会撑破石英坩埚,而石英坩埚是贴合于三瓣堝的,当石英坩埚破裂而产生的应力大于三瓣堝承受的应力时,三瓣堝就会断裂,这就是为什埚底料剩余过多会撑破三瓣埚的原因。  2.加热时间过长、石英坩堝质量不过关、原料酸碱度未达到要求,会导致漏硅和渗硅,熔硅渗入三瓣堝之间的缝隙之间冷却后一是撑坏三瓣堝,二是使三瓣堝相互粘接,在清炉时,使其分离有可能造成断裂。  3.在加热过程中唯有三瓣埚的热源来自两个方面,一是加热器的辐射,二是来自于石英坩埚的传导,这就导致三瓣埚受热不匀,加热时沿某些方向膨胀,沿另一些方向收缩,从而导致三瓣埚断裂。
 
 
      石墨热场日常养护方法
 
      热场是真空电阻炉的核心部分,它的好坏直接影响到炉子的性能及其运营成本。热场的设计是多种多样的,具体选择哪一种设计方案,主要基于对工艺流程的具体分析。大多数真空电阻炉的热场包括四个主要组成部分:加热器及其连接部件 、隔热部件(或者反射屏)、热场支撑部件 、工件承载炉床。这些配件往往会由于材质的问题或者使用时间的问题常常需要做好定期更换,那么对于石墨热场配件在哪些条件下需要更换,哪些条件下需要清洗呢?
 
 
  1、对于寿命已到更换期限的,原则上需要更换(或让经验丰富的人对其识别,决定其是否继续使用)。对于没到寿命更换且暂时不用者,要将其密封在塑料袋中,放入纸箱打包,注明炉号、炉数、更换原因、来源、日期,并妥善保管。
 
  2、对于部分损坏(如三瓣坏一瓣)而又未到寿命期限的,可凑用或更换(对于只有几炉的新三瓣埚由车间主管判断后,决定是否使用,对能使用且能凑够一套的凑用,对能使用但暂时不用的将其封存保管)。密封保存的再次使用时,建议使用在提纯的炉子上。
 
  3、每次拆炉时,清理热场氧化物,并把石墨件上的渗硅清理干净,导流筒、保温盖要认真擦拭干净,避免杂物污染原料事故。拿取石墨件,除注意人身安全外,还要小心轻放,注意石墨件安全。
 
  4、严格按操作规程升温、化料、回熔、停炉等,保护好石墨件。每一炉拆炉后都要仔细清扫石墨配件,仔细检查籽晶及各个石墨热场配件的状况,并做好详细记录。
 
  5、检查石墨配件有无裂纹,特别是石墨坩埚、石墨托盘、、石墨坩埚杆有无裂纹,如出现裂纹应立即报告车间主管,并作出更换,对有沾硅的地方应作出判断或报告车间主。在使用到预计使用寿命前的5炉以前由带班班长负责检查、审查。在使用到预计使用寿命前的5炉以后由车间主管负责检查、审查。
 
  6、石墨配件使用寿命到期后,对逾期使用有可能造成重大损失的石墨配件(石墨托盘、坩埚杆、石墨坩埚)等部件先拆下来进行更换新品,更换下来的石墨配件进行封存,单晶车间、技术处和生产处会审后再进行处理,其他配件如加热器、保温筒、导流筒等要仔细检查,看有无微小裂纹和缺陷,原则上这些石墨配件如无上述缺陷可以继续使用。对于出现闷炉的石墨热场配件要做好详细记录。
 
  7、对于出现事故的石墨热场配件做好详细记录。对于有问题的石墨配件应做好详细记录,归入指定的地点,以防混淆。
 
    以上就是专业生产石墨坩埚和石墨加工件的信瑞达石墨带来的石墨热场常见问题原因分析,如果要了解更多的信瑞达石墨的更多的新闻内容,请登录信瑞达石墨官网,信瑞达石墨将竭诚为您服务!
 
  
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