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产品名称:单晶生长炉

联系人:王先生
手机: 13506298831 电 话:0513-88782390

产品说明

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 TDR-H Y型是通过引进日本技术, 针对太阳能电池市场需求而开发的高性能单晶 棒自动生长的专用设备。该设备是采用直拉法生长单晶硅材料。其主要由主机、加 热电源和计算机控制系统三大部分组成。

功能Function TDR80 HY TDR85 HY TDR95 HY
总述      
拉制晶棒直径Ingot Diameter 6" 6"/8 8"
最大装料量Maximum Charge Amount 60kg 95kg 135kg
可拉晶棒最大长度Maximum Crystal Length 1800mm 2000mm 2000mm
可用坩埚规格Recommended Crucible 18" 18"/20 20"/22
晶体升降行程Total Seed Travel 3000mm 3400mm 3400mm
晶体提升速度(低)Total Slow Lift Speed 0.2~ mm/min 10.5 0.2~ mm/min 10.5 0.2~ mm/min 10.5
晶体提升速度(高)Seed High Lift Speed 500mm/min 500mm/min 500mm/min
晶体旋转速度Seed Rotating Speed 240rpm 240rpm 240rpm
坩埚提升行程Total Crucible Travel 300mm 400mm 400mm
坩埚提升速度( 低)Crucible Slow Lift Speed 0.04~ mm/min 0.63 0.04~ mm/min 0.63 0.04~ mm/min 0.63
坩埚提升速度( 高)Crucible High Lift Speed 150mm/min 150mm/min 150mm/min
坩埚旋转速度Crucible Rotating Speed 0.520rpm 0.520rpm 0.520rpm
中炉筒内径Furnace Dimension 800mm 850mm 950mm
冷炉极限真空度Vacuum Requirement 3Pa 3Pa 3Pa
最大泄露率Permissible Leakagerate 0.6m Torr/min 0.6m Torr/min 0.6m Torr/min
炉体最大高度Furnace Height 6900mm 7200mm 7200mm
炉体重量Furnace Max Weight 4000kg 4800kg 5000kg
冷却水流量( 含加热器)Cooling Water Flow 280 min 320L/ 280 min 320L/ 300 min 340L/
冷却水进出口压差Cooling Water Presure 2kg/cm2 2kg/cm2 2kg/cm2
最大氩气流量Argon Gas Flow 120L/min 120L/min 160L/min
电源Power Supply 三相AV280v 50/60Hz 三相AV280v 50/60Hz 三相AV280v 50/60Hz
环境温度Enviroment Temperature 540 540 540
 

 

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