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产品名称:供应 QT-100-PSP 等离子清洗机/等离子刻蚀机

联系人:不玩了
手机: 138000000 电 话:0769-88888888

产品说明

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主要应用于LCD、连接器、键合前等大规模生产领域。

特点: 所有元器件及核心部件采用进口,保证了整机的稳定性和使用寿命。
真空泵采用进口旋片泵,是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系,在抗氧化、耐腐蚀等诸多方面积累了丰富的经验,使泵的寿命大大提高,并有效降低了泵的维护成本,泵的各项保护措施完善,提高了长时间工作极限,泵油为耐高温、抗氧化油,泵具有可自行缓解温度过高的散热体系,无需水冷。泵体内置于机柜内部,使机器紧凑,占地面积小。

控制方式:自动控制系统采用PLC加触摸屏控制,所有工艺参数、工艺过程实时监控,并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录,适合维护,可以提供工艺参考。

可存储50组工艺配方,随意调用。

清洗时间。洁净压力、射频功率,工艺气体流量。设定可调。

工艺参数受密码保护,分组密码管理查询。

一键自动完成全自动工艺,实时故障报警,非法操作提示,清洗结束提示等。

自动提醒系统维护、更换真空泵油等,避免机器过载、过老化情形下工作,延长使用寿命。

气体质量流量计采用美国进口,由模拟量输入输出,量程为0~200sccm,可在量程范围内无级调节,根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。

根据特殊的工艺要求可使用干泵、尾气处理设备、油过滤器、过滤返油装置等。电极结构(专利)的高等离子能量设计能很好地提高等离子休的均匀性及稳定性。

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