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产品名称:DRF-50 单晶硅生长炉

联系人:华盛
手机: 暂无 电 话:010-82334206

产品说明

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所属类别: 单晶设备
产品名称: DRF-50 单晶硅生长炉
   
 
 
产品描述:

DRF50单晶硅生长炉

用途:

主要用于二极管单晶硅棒、硅芯原料棒拉制,多晶硅原料的检测。


 

主要技术参数

                        DRF-50 

拉制晶体最大直径:     Ф3″(Ф80mm)  

最大熔料量         10Kg (10″坩埚)

主炉室内径         850mm        

加热方式          石墨电阻加热  

籽晶拉速          0.2-8mm/min  

籽晶转速          0-30rpm      

坩埚升速          0.02-1mm/min 

冷炉极限真空度       <3pa         

主变压器容量        80KVA        

外形尺寸(长×宽)        3900×3000m

质量            4000Kg       

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